HfO2高k栅介质等效氧化层厚度的提取 Extraction of Equivalent Oxide Thickness for HfO2 High k Gate Dielectrics.pdfVIP
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HfO2高k栅介质等效氧化层厚度的提取 Extraction of Equivalent Oxide Thickness for HfO2 High k Gate Dielectrics
第 卷 第 期 半 导 体 学 报
27 5 Vol.27 No.5
年 月
2006 5 CHINESEJOURNAL OF SEMICONDUCTORS Ma 2006y
Hf02 高 栅介质等效氧化层厚度的提取k %
!
1 T 1 2 2 2
陈 勇 赵建明 韩德栋 康晋锋 韩汝琦
( 电子科技大学微电子与固体电子学院 成都 )
1 610054
( 北京大学微电子系 北京 )
2 100871
摘要!分两步提取了 高 栅介质等效氧化层厚度( )首先 根据 测试结构等效电路 采用双频
HfO2 a EOT . MIS C-V
特性测试技术对漏电流和衬底电阻的影响进行修正 得出HfO2 高 栅介质的准确a C-V 特性 其次 给出了一种利.
用平带电容提取高 介质a EOT 的方法 该方法能克服量子效应所产生的反型层或积累层电容的影响 采用该两步.
法提取的HfO2 高 栅介质a EOT与包含量子修正的Poisson 方程数值模拟结果对比 误差小于 5 验证了该方法
的正确性.
关键词!高介电常数栅介质;等效氧化层厚度;二氧化铪
: ; : ;
PACC 7340O 7360 EEACC 2530F 2520
中图分类号! 文献标识码! 文章编号! #
TN386 A 0253-4177 2006 05-0852-05
介质电容测试结果产生误差 通常的物理测量技术
l 引言 如椭偏仪方法对于极薄的介质厚度测试精度较
[]
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