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2017-08-12 发布于上海
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LTCC专用烧结设备温度串级控制系统的实现

团．望星蝥塞三基幽嚣基：塾菱皇绳菱： LTCC专用烧结设备温度串级控制系统的实现龙占勇1，邓斌1，罗心蕾2 (1．中国电子科技集团公司第四十八研究所，长沙41011l； 2．湖南华博科技有限公司，长沙410015) 摘要：针对LTCC专用烧结设备温度控制过程中滞后较大、干扰比较频繁，对温度控制品质要求很高的特点。将串级控制应用于LTCC专用烧结设备温度控制系统中。实验结果表明串级控制具有较强的抗干扰能力，控制品质优于常规PID控制，对温度控制品质的改善起到了很好的作用。关键词：串级控制；低温共烧陶瓷(LTCC)；温度均匀性中图分类号：TF806．1 文献标识码：B CascadeControl forLTCC Temperature System …‘■ 叁iintering■。urnaces LONG Xinlei2 Binl，LUO Zhanyon91，DENG institute research ofChinaElectronics (1．Forty-eighth TechnologyGroupCorporation，HunanChangsha410111，China 2．HunanWoBoo TechnologyCompanyLtd，HunanChangsha410015，China) Abstract：Becauseofthe and control hysteresis disturbance，Thetemperaturesystem qualityfrequent forLTCC furnacescascadecontrolfor and sintering adopts hightreliabilityhightresponsibility．The has of disturbancethanthetraditionalPIDcontr01．The systemstrongercapacityresisting temperature has and characteristic． cascadecontrol static hight dynamic system Keywords：Cascadecontrol；LTCC；Temperatureuniformity 低温共烧陶瓷(Low Co-firedCer- 有优良的高频、高品质因子和高速传输特性及 Temperature am 成本低、生产周期快、批量大等特点，因此它正 ie，LTCC)技术是近年发展起来令人瞩目的整合组件技术，具有IC封装、埋入式被动组件逐渐用于取代传统的PCB板。烧结是LTCC的及三维高密度电路连接功能，并且基板材料具生产工艺流程中重要的一环，它是将经过层压