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LTCC电容π型等效电路模型的提取与验证 The Research on (-equivalent Circuit of LTCC Capacitor
LTCC电容兀型等效电路模型的提取与验证
陈锡丹,刘颖力,李元勋
(电子科技大学微电子与固体电子学院,四川成都610054)
摘要:对LTCC内埋置MIM电容的传统万型等效电路进行了研究,对其等效电路模型的参数进行了提
取,详细推导了该模型中元件的参数估算公式,并用二层LTCC电容进行仿真验证,可以看出建立的三维HFSS
模型在第一谐振频率点内与电路仿真结果有很好的一致性,但是随着频率的增高,片式器件高频寄生效应就会
更加明显,因此需要提取更加准确的高频等效电路。
关键词:LTCC电容;冗型等效电路;仿真验证;谐振频率点
中图分类号:TM53;TMl31.4
文献标识码:B
TheResearchon Circuitof
LTCC
7c—equivalent Capacitor
CHEN Yuan—xun
Xi-dan,LIUYing—li,LI
School andSolid
Electronics,UniversityofElectronic
ofMicroelectronics
Scienceand 61
0054,China
Technology,Chengdu
in
Abstract:ThecircuitmodeloflaminatedMIMLTCC isdeducedthis the
7c-equivalent capacitor paper,and
ofthe circuitaleextractedindetail.Laminated isutilizedto themodel.
parametersequivalent 2-layerscapacitor venfy
ItCallbeseerlthe between circuitand3DHFSSmodela tothe
up
frequencyresponses7【·equivalent getgoodagreement
RF obviouswhen
fundamentalself-resonance Callbeobservedthat effectismore
frequency(SRF).It parasitic
be
tOits resonant moreaccurate circuitneedsto extracted.
increasing seconda—ry frequency,SO
frequencyup equivalen
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