LTCC电容π型等效电路模型的提取与验证 The Research on (-equivalent Circuit of LTCC Capacitor.pdfVIP

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2017-08-12 发布于上海
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LTCC电容π型等效电路模型的提取与验证 The Research on (-equivalent Circuit of LTCC Capacitor.pdf

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LTCC电容π型等效电路模型的提取与验证 The Research on (-equivalent Circuit of LTCC Capacitor

LTCC电容兀型等效电路模型的提取与验证陈锡丹，刘颖力，李元勋 (电子科技大学微电子与固体电子学院，四川成都610054) 摘要：对LTCC内埋置MIM电容的传统万型等效电路进行了研究，对其等效电路模型的参数进行了提取，详细推导了该模型中元件的参数估算公式，并用二层LTCC电容进行仿真验证，可以看出建立的三维HFSS 模型在第一谐振频率点内与电路仿真结果有很好的一致性，但是随着频率的增高，片式器件高频寄生效应就会更加明显，因此需要提取更加准确的高频等效电路。关键词：LTCC电容；冗型等效电路；仿真验证；谐振频率点中图分类号：TM53；TMl31．4 文献标识码：B TheResearchon Circuitof LTCC 7c—equivalent Capacitor CHEN Yuan—xun Xi-dan，LIUYing—li，LI School andSolid Electronics,UniversityofElectronic ofMicroelectronics Scienceand 61 0054，China Technology,Chengdu in Abstract：ThecircuitmodeloflaminatedMIMLTCC isdeducedthis the 7c-equivalent capacitor paper,and ofthe circuitaleextractedindetail．Laminated isutilizedto themodel． parametersequivalent 2-layerscapacitor venfy ItCallbeseerlthe between circuitand3DHFSSmodela tothe up frequencyresponses7【·equivalent getgoodagreement RF obviouswhen fundamentalself-resonance Callbeobservedthat effectismore frequency(SRF)．It parasitic be tOits resonant moreaccurate circuitneedsto extracted． increasing seconda—ry frequency,SO frequencyup equivalen