太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法编制说明.DOC

《太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法》编制说明 一 工作简况 1.任务来源 根据工业和信息化部二O一二年三月二十六日的《关于印发2012年第一批行业标准制修订计划的通知》, 由全国半导体材料和设备标准化技术委员会材料分技术委员会负责计划编号为2012-0499T-SJ的行业标准《太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法》的制定工作。 2.主要工作过程 本标准于2012年上半年开始起草，在调研了解太阳能电池用硅片电阻率在线测试的要求以及太阳能电池用硅片电阻率在线测量的。调查国内、国际上硅片目前使用的在线电阻率检测设备、测试原理相关的标准行业 3.本标准主要起草人 孟丹 工程师 贺东江 教授级高工 王海方 工程师 黄黎 总经理 4.本标准的意义 随着太阳能行业的不断发展，特别是硅晶太阳能电池生产技术的大规模化和自动化程度的提高，行业内对硅片的要求越来越高。随之而来的是行业内对太阳能电池用硅片的检测技术的要求也越来越高。 电阻率作为表征硅片质量的重要参数，一直是硅片检测过程中的重要环节。 涡流法测试电阻率具有快速，重复性好，受环境影响小，非接触无损伤等特点，特别适用于在线电阻率测试，作为传统四探针的替代设备。 对于电阻率的在线测试，目前行业内并没有相关的标准，本标准的发布对规范在线电阻率测试方法，便于不同设备及厂家间的数据对比及分析，对实际生产有重要的指导意义。 二 本标准编制的原则和依据 1.标准编制原则 1.1 标准的编写格式按国家标准GB/T1.1-2000《标准化工作导则 第1部分：标准的结构和编写规则》的统一规定和要求进行编写。 考虑的 1.3 在制定本标准时，不但考虑国内生产企业的生产现状技术发展趋势。 本标准的主要内容及依据如下： 2.1 电阻率的测试以及计算 传统的离线测试方法通常采用四探针测试法，速度慢，误差大，受环境影响较大，对硅片有损伤而且容易混入人为误差。很难适应大规模生产的需要，因此运用在线的方法对硅片进行测试成了行业发展的必然趋势。 涡流法作为四探针的理想替代手段广泛应用于在线电阻率测试， 根据国标GB/T 6616《半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法》中电阻率的定义和计算方法，对电阻率进行测试和计算。 2.3 重复性和精确性 测试用硅片样品由江苏协鑫硅材料科技发展有限公司和XXXX公司提供，共有单晶硅片X张，多晶硅片X张。 测试地点包括：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司，江苏顺风光电科技有限公司，常州天合光能有限公司，镇江荣德新能源科技有限公司，镇江环太硅科技有限公司 具体测试数据和结果全部列在实验报告中，做为附录列于本编制说明后。 这里的内容待测试完全完成后再做补充。 三 关于本标准编制中一些问题的说明 1 根据行标的特点，本标准为方法标准。 2 为了规范统一标准术语，本标准相应地修改题目为《太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法》。 3本标准中电阻率测试采用涡流法作为测试手段，接触式的四探针方法不在标准规定之内。 四 标准水平分析 本标准为首次制定，达到国内先进水平。建议推荐为行业标准。 《太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法》起草小组 2012年10月 附：太阳能电池用硅片电阻率在线测试实验报告 一 实验目的 使用不同生厂家的测试仪器，对选用的硅片进行测试分析，比较测试结果。 精密度重复性试验数据分析 本方法的精密度是由起草单位和验证单位在同样条件下，对硅片进行重复性验证，并根据标准偏差公式和重复性试验数据计算得出平均值和标准偏差。平均值为XX，标准偏差为XX 测试单位： 样品 测试 实验室1 实验室2 实验室3 实验室4 实验室5 单晶125 1 　 　 　 　 　 2 　 　 　 　 　 3 　 　 　 　 　 4 　 　 　 　 　 5 　 　 　 　 　 6 　 　 　 　 　 7 　 　 　 　 　 8 　 　 　 　 　 9 　 　 　 　 　 10 　 　 　 　 　 AVE 　 　 　 　 　 DEV 　 　 　 　 　 单晶156 1 　 　 　 　 　 2 　 　 　 　 　 3 　 　 　 　 　 4 　 　 　 　 　 5 　 　 　 　 　 6 　 　 　 　 　 7 　 　 　 　 　 8 　 　 　 　 　 9 　 　 　 　 　 10 　 　 　 　 　 AVE 　 　 　 　 　 DEV 　 　 　 　 　 多晶156 1 　 　 　 　 　 2 　 　 　 　 　 3 　 　 　 　 　 4 　 　 　 　 　 5 　 　 　 　 　 6 　 　 　 　 　 7 　 　 　 　 　 8 　 　 　 　 　 9