工装管理办法试行.DOC

1 目的 防止生产过程中静电释放对产品形成危害，本要求规定了静电敏感器件（简称ESDS，含MOS器件、IGBT、集成电路等）的采购、检测、贮存、运输、过程中的操作要求，规定了产品生产过程中的静电防护技术要求。 2 适用范围 适用于本公司产品的研制、生产、维修和产品返修过程中的静电防护。 适用于本公司产品所用电子元器件的采购、贮存、制造过程含外协加工的静电防护。IPC-A-610D Acceptability of Electronic Assemblies 3.2 防静电工作区技术要求 GJB3007-1997 3.3 电子器件静电防护基本要求 IEC61340-5-1 3.4 电子产品防静电放电控制手册 GJB/Z105-98 4 工具和仪器 4.1 防静电手环 4.2 静电防护手环测试仪 4.3 表面电阻测试仪 4.4 防静电桌垫 4.5 防静电袋 4.6 防静电泡沫 4.7 导电物料架 4.8 防静电周转箱 4.9 防静电电烙铁 4.10人体电阻综合测试仪 术语和定义 ESD ----（electrostatic discharge）静电释放 ESDS ---（electrostatic discharge sensitive）静电敏感器件 ESD防护技术要求 .1 ESD环境要求及区域划分 8.1.1 ESDS的存贮环境相对湿度为%~75%，温度维持在15~35℃。 8.1.2 要保持ESD防护区域内，防静电桌面、导电物料架、防静电周转车等表面清洁。 8.1.3 制造部、生产计划部库房应设置防静电工作区，并在工作区内明显可见位置 8.1.4 静电工作区出入口设置人体电阻综合测试仪，并悬挂防静电标识。 8.1.5 防静电周转车、防静电箱、防静电料盒等防静电设施检测合格后粘贴标识，并标明检测人、有效期等。 8.1.6静电工作区内应避免瞬时高电压源。8.1.7 防静电工作区内应配备制冷、制暖设施，当温度、湿度超出ESDS存贮相对湿度、温度时，应启动相应加湿器和制冷、制暖设施，保证温度、湿度在规定范围内。 8.1.8 防静电工作台上禁止工作无关的物品，图纸文件放置在文件袋内。8.1.9 防静电标识如下所示。（图4-8.6） 8.2 ESD设备要求 8.2.1 设备配备 a）防静电系统应有独立的可靠的接地母线，防静电母线应直接接入大地，不能与建筑物避雷地及电源零线共用。接地母线一般选用50mm*5镀锌钢带接地或与Φ30mm壁厚3mm钢管焊接镀锌后，打桩入地。 b）当采用三相五线制供电时，其地线可以作为防静电地线。生产线接地要求从较近的电源地的地线中引出一条防静电总线（导线截面≥4mm2），线体上的防静电设施全部并联到防静电总线上（导线截面≥1mm2）。 c）防静电线上不允许连接其它需要进行安全接地的设备，且防静电线的连接应采取焊接或螺栓连接的方式。 d）静电安全工作台由防静电桌垫、腕带接座和接大地线等组成，工作台上应配置两个腕带接座。各工作台与接地母线一般用薄膜铜带相连，一端铺设在防静电桌垫及防静电地垫下，一端与地线母排用螺柱紧固。 e）贮存、周转ESDS工序应铺设防静电地面，配备防静电车、防静电箱、防静电料盒、防静电隔板等防静电设施，且要保持防静电设施的清洁。防静电车要用导电性良好的金属链与地面接触，并且接触的长度不少于3cm。 8.2.2 设备维护 a）操作人员负责防静电设施的日常检查，检查完毕填写“操作人员防静电设 备检测记录”、“人体综合电阻测试记录”。 用腕带性能检测仪检测防静电腕带性能良好； 用万用表检查电烙铁外壳接地电阻值应小于5Ω； 用人体综合电阻测试仪在穿防静电鞋状态下检测对地电阻应合格，且应双脚测量。 b）下列项目每周检查一次，检查完毕填写“防静电桌运输车检测记录”。 防静电桌腕带插座至楼层配电间接地端子的电阻值应≤5Ω； 防静电桌垫接地端至楼层配电间接地端子的电阻值应≤5Ω； 防静电桌运输车接地插座至楼层配电间接地端子的电阻值应≤5Ω；防静电货架接地端子至楼层配电间接地端子的电阻值应≤5Ω。c）下列项目每月检查一次，检查完毕填写“防静电工作服性能检测记录”。 防静电工作服表面电阻或端对端电阻应在105~1010Ω范围内。 d）下列项目每季度检查一次，检查完毕填写“防静电地面、地垫防静电性能检测记录”。 防静电地面、地垫表面电阻应在105~1010Ω范围内； 防静电地面、地垫对地电阻应在105~109Ω范围内。 e）下列项目每六个月检查一次，检查完毕填写“防静电设备防静电性能检测记录”。 静电桌垫材料的表面电阻值在105~108Ω范围内； 导电类防静电盒、防静电箱等容器的表面电阻值在103~105Ω，静电