光纤微机电压力传感器的设计.PDFVIP

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2017-08-13 发布于天津
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光纤微机电压力传感器的设计

4 4 ( ) Vol. 4 No. 4 2004 12 JOURNAL OF NANJING NORMAL UNIVERSITY( ENGINEERING AND TECHNOLOGY) De . 2004 光纤微机电压力传感器的设计李明, 王鸣, 王婷婷, 聂守平 ( , 210097) [ ] (MEMS) , MEMS . MEMS . MEMS , , 300m 2. 42m23 m. MEMS . [ ] , MEMS , , [ ] TN491, [ ] B, [ ] 2004) . 0 引言 MEMS , . . MEMS MEMS ; ; MEMS MEMS , . , MEMS , , MEMS . . MEMS 20 70 1 光纤MEMS压力传感器的理论模 [ 1] , , 型[6] . 20 80 1MEMS , MEMS [2, 3] , , , . MEMS , . MEMS [4] , , S 1, S 1, . S , 2 MEMS , , MEMS , , , ; . [5] MEMS , , : : ( BG2003024) ( 2004XK013) . : ( 1980- ) , , . E-mail: hinamems@ vip. sina. om : ( 1950- ) , , . E-mail:wangming@pine. njnu. edu. n