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第 26 卷 第 5 期 半 导 体 学 报 Vol . 26 No . 5
2005 年 5 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S May ,2005
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陈晓娟 刘新宇 邵 刚 刘 键 和致经 汪锁发 吴德馨
( 中国科学院
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