半球形固体浸没透镜显微系统的透射光场研究.pdfVIP

维普资讯 第 35卷第 11期 光 子 学 报 VoI_35No．11 2006年 11月 ACTA PHOTONICA SINICA NovcFllber2006 半球形固体浸没透镜显微系统的透射光场研究* 张耀举 叶雪华 (温州大学物理与电子信息学院，温州 325027) 摘 要 应用高数值孔径系统的矢量衍射理论研究了半球形固体浸没透镜 (SII)球面表面的反射 对 SII系统透射场的影响．研究结果表明，半球形 SII球面表面的反射对 SIL显微 系统的透射光 强产生很大的影响．然而，这种反射不改变半球形 SIL显微系统的分辨率 ．SII球面介质界面材料 的折射率失配越大，透射光强减小越多．在SII的球面表面涂上减反膜或者在物镜和SIL之间填 充折射率较大(但比SII的折射率小)的介质可以提高系统的透射光强 ． 关键词 信息光学；半球形固体浸没透镜；反射 ；偏振 ；透射光场 中图分类号 O438．2 文献标识码 A 而 ，这些对于半球形 SII显微系统 的理论分析_l 0 引言 中，只考虑了光在半球形 SII的平面介质界面的反 衍射限制普通显微镜的空间分辨率大约在半个 射 ，而忽略r光在SII的球面介质界面的反射作用． 波长以内．减小波长或增加收集角可以提高显微镜 本文 目的是要考察半球形 SII的球面介质界嘶的 的空间分辨率，一般通过油浸没或固体浸没透镜 反射对 SII 微系统透射光场 的影响 ． (SIL)显微技术来实现[】J．SII材料的折射率 比油 1 偏振矢量 的折射率大，例如，叮见光波长范围内，GaP的折射 率为3．5，玻璃的折射率接近 2，而油 的折射率大约 图 1是 半球形 SIL系统截面 图，图 中应用 为 1．4，所以近场 SII显微镜可以使空间分辨率有 Cartesian基和 自然坐标基进行坐标变换 ．高数值 较大的提高 ．SII技术 已广泛应用于光学显微_】～、光 孔径物镜把入射光会聚到半球形 sII的平 表面 学数据存储 孩0蚀 和半导体纳米结构的研究[7． 上．光在介质界面的折射和反射与偏振有关 ，入射 在实践中，常常使用两种类型的SII．一种是半球 形 SIL：，另一种是超半球型 SIL(Weierstrass光 学)_2]．WeierstrassSII的优点是 ，可 以使远场物镜 的数值孔径增加 倍，而半球形 SIL只增加 倍( 是SIL的折射率)．它的缺点是，由于它的几何结构 与折射率有关，SIL材料的色散将会使这种 SIL产 生严重的色差 ．对于大多数材料，这种色差限制了 可用的带宽 ．半球形 SIL的放大率横向色差较小 ， 这种透镜可以看作是消色差的透镜 ．半球形 SII的 图 1 h-Sll显微系统 图 另一个优点是它 比WeierstrassSIL的光学厚度容 Fig．1 S．chematicoverview ofthehSlImicroscopysystems 限大f1．所以，最近儿年，半球形 SIL获得 l『非常广 在聚焦系统的偏振状态将影响在焦点附近的分辨率 泛的应用 ～圳． 和透射场分布 ．为 了定量地讨论这个 问题 ，必须 寻 在理论方法上，Richards和wolf_】已经给出 找偏振矢量的一般表达式 ．假设入射偏振 与极角和 了高数值孔径系统的矢量衍射理论 ．Tor6k等人l1 偏向角有关 应 用这种方法讨论 了平 面浸没 固体 的速逝场． 仅(·，)I Helsethci6】，Guo等人 ，Iu等人[ 和前面