SWI-A56 硅片检测系统规格书 _3i Systems.pdf

  3 Systems SWI-A56系统 规格书               目录 1. 系统外观  2  1.1 子系统  2  2.系统规格  4  2.1 检测规格  4  2.1.1 PL 缺陷检测规格  4  2.1.2 外观检测规格  5  2.1.3  厚度、电阻、PN 性和少子寿命测试规格  6  2.2 操作时间  7  2.3 性能  7  2.4 可靠性  7  3 设备支持要求  7  4.系统保修  7  5.支持计划  8  6.培训计划  8  7.相关文档  8          1      SWI-A56 系统是3i公司利用光致荧光原理研发，用来检测太阳能电池硅片瑕疵，并承 载太阳能电池硅片外观、厚度、电阻、PN性以及少子寿命检测与一体的多功能全自动 化太阳能电池硅片分选设备。这个系统拥有强大的检测功能，通过PL缺陷检测模块 和外观检测模块分选出太阳能电池硅片的瑕疵，可协助用户控制来料质量；通过厚度、 电阻、PN性以及少子寿命测试模块检测样品性能，能够有效的协助用户了解来料样品 性能。 SWI-A56 系统PL缺陷检测模块拥有由专门的影像光学系统和高灵敏度相机模组组成 的高性能光度头，提供给用户来料芯片的高精度的全自动瑕疵检测；系统的外观检测模 块是利用影测量技术结合Scorpion Vision Software，为用户的硅片测量实现了低噪声、 高敏感、高可重复性、高分辨率的检测；系统的厚度、电阻和PN性检测模块利用一 套无接触电容探头，为用户提供微米级精确度、毫欧级精确度和高重复性的测试 解决方案；系统少子寿命测试模块利用逐点高速的扫描模式，为用户提供高效的 的全自动检测。 1. 系统配置 子系统 配置 PL 缺陷检测模块（套）  - 影像光学  传感模块  ：短波红外镜头，专门 为短波红外相机设计；高的红外透射率,能提供 优秀的成像质量；红外透射可见吸收型滤光片， 能有