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N2射频放电带电粒子(eN2N)的PIC-MC模拟
第 32 卷 第 3 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.32, No.3
2 0 1 2 年 9 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics Sep. 2012
文章编号:0254−6086(2012)03−0206−07
+ +
N2 射频放电带电粒子(e, N2 , N )的 PIC-MC 模拟
1 1 2
杨 莹 ,付东儒 ,张连珠
(1. 河北正定中学,正定 050800 ;2. 河北师范大学物理科学与信息工程学院,石家庄 050024)
+
摘 要:采用 PIC-MC 自洽模型,模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子(e ,N2 ,
+ + + +
N )的行为。结果表明,离子(N2 ,N )的运动状态滞后瞬时射频电场的变化;在两极附近,N2 具较高密度,但能
量较低,N+具较低的密度但能量较高,两者的密度差 6 倍左右。两种离子轰击射频电极的能量分布变化规律类似,
随放电参数变化,离子(N + +
2 ,N )能量变化显著,其密度变化不明显。模拟的电子能量几率分布与测量结果一致。
关键词:N2 等离子体;射频放电;PIC-MC 模拟
中图分类号:O539 文献标识码:A
1 引言 子的产生率较大,且结构简单,工作气压较低。在
氮气射频放电等离子体广泛应用于氮化物合 具体工艺中,工件的质量及性能在很大程度上取决
成及金属表面氮化技术等领域,氮等离子体是合成 于它与等离子体的相互作用过程,因此研究轰击电
Ⅲ族氮化物(InN ,GaN ,AlN 等)N 原子的源[1] 。等 极等离子体离子的能量分布函数及 RF 放电物理机
离子体渗氮能大大提高不锈钢的硬度、耐腐蚀性、 制是十分必要的。但关于纯氮气射频等离子体的理
抗磨损及表面品质[2] ;氮等离子体离子注入可以充 论模拟较少,具体的 N2 射频等离子体的微观过程
分减少各种合金的磨损率,通常寿命增加 2 ~3 个 及其氮活性粒子产生及行为分布有待于更深入的
数量级[3] ;最近,N /H 混合气体放电用于低介电常 研究及更为精准的定量描述。在各种模拟方法中,
2 2
数有机薄膜的刻蚀[4] 。在氮等离子体研究中,理论 PIC-MC 方法是推崇的一种研究方法,其方法不仅
模 拟 研 究 远 不 如 实 验 研 究 那 么 广 泛 。 最 近 , 兼顾了 PIC 处理集体相互作用和 MC 处理粒子碰撞
Thorsteinsson 等采用 Global(零维)模型,分别研究 的优势,而且模拟精度高,能描述等离子体过程细
了低气压 N2 直流放电和 N2 脉冲放电等离子体动力 节。本文采用 PIC-MC 模型,模拟了氮气电容性耦
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