N2射频放电带电粒子(eN2N)的PIC-MC模拟.PDF

第 32 卷 第 3 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.32, No.3 2 0 1 2 年 9 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics Sep. 2012 文章编号：0254−6086(2012)03−0206−07 + + N2 射频放电带电粒子(e, N2 , N )的 PIC-MC 模拟 1 1 2 杨 莹 ，付东儒 ，张连珠 (1. 河北正定中学，正定 050800 ；2. 河北师范大学物理科学与信息工程学院，石家庄 050024) + 摘 要：采用 PIC-MC 自洽模型，模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子(e ，N2 ， + + + + N )的行为。结果表明，离子(N2 ，N )的运动状态滞后瞬时射频电场的变化；在两极附近，N2 具较高密度，但能 量较低，N+具较低的密度但能量较高，两者的密度差 6 倍左右。两种离子轰击射频电极的能量分布变化规律类似， 随放电参数变化，离子(N + + 2 ，N )能量变化显著，其密度变化不明显。模拟的电子能量几率分布与测量结果一致。 关键词：N2 等离子体；射频放电；PIC-MC 模拟 中图分类号：O539 文献标识码：A 1 引言 子的产生率较大，且结构简单，工作气压较低。在 氮气射频放电等离子体广泛应用于氮化物合 具体工艺中，工件的质量及性能在很大程度上取决 成及金属表面氮化技术等领域，氮等离子体是合成 于它与等离子体的相互作用过程，因此研究轰击电 Ⅲ族氮化物(InN ，GaN ，AlN 等)N 原子的源[1] 。等 极等离子体离子的能量分布函数及 RF 放电物理机 离子体渗氮能大大提高不锈钢的硬度、耐腐蚀性、 制是十分必要的。但关于纯氮气射频等离子体的理 抗磨损及表面品质[2] ；氮等离子体离子注入可以充 论模拟较少，具体的 N2 射频等离子体的微观过程 分减少各种合金的磨损率，通常寿命增加 2 ～3 个 及其氮活性粒子产生及行为分布有待于更深入的 数量级[3] ；最近，N /H 混合气体放电用于低介电常 研究及更为精准的定量描述。在各种模拟方法中， 2 2 数有机薄膜的刻蚀[4] 。在氮等离子体研究中，理论 PIC-MC 方法是推崇的一种研究方法，其方法不仅 模 拟 研 究 远 不 如 实 验 研 究 那 么 广 泛 。 最 近 ， 兼顾了 PIC 处理集体相互作用和 MC 处理粒子碰撞 Thorsteinsson 等采用 Global(零维)模型，分别研究 的优势，而且模拟精度高，能描述等离子体过程细 了低气压 N2 直流放电和 N2 脉冲放电等离子体动力 节。本文采用 PIC-MC 模型，模拟了氮气电容性耦