滤波器结构鲁棒设计.pdf

振 动 与 冲 击 ’ ! 第 期 杨! 华等：考虑微加工误差的微机械谐振器# 滤波器结构鲁棒设计 !!! $$ ! 第%5 卷第 期 6,78019 ,: ;=81/,0 10 +?,@A ;BCD %5 0BD %- ################################################## 考虑微加工误差的微机械谐振器# 滤波器结构鲁棒设计’ 杨! 华! 孙蓓蓓! 李! 普! 孙庆鸿 （东南大学机械工程系，南京! %’( ） ! ! 摘! 要! 基于结构鲁棒设计思想，针对两个振动自由度的静电梳驱动折叠梁微机械滤波器，在指定耦合梁宽度等 于振子折叠梁宽度的前提下，推导出了两个固有频率对微梁宽度工艺误差的灵敏度模型，得到了对工艺误差不敏感的条 件。并以矩形作为振子基本形状，提出了振子结构鲁棒设计方法，推导出了折叠梁宽度! 与补偿孔壁厚 、补偿孔数量# 的重要关系。最后，给出了设计实例。得到的相关结论对其它类型的微机械滤波器的设计也有指导意义。 关键词：)*)+ ，谐振器# 滤波器，梳状谐振器，结构鲁棒设计 中图分类号：,$-. ，/0.$! ! ! 文献标识码：1 ! 引! ! 言 ! 硅微机械滤波器振动模型及固有频率对工 艺误差的灵敏度模型 微机械谐振器$ 滤波器由于具有优异的性能和巨 大的应用前景，使得各国学者纷纷开展研究，提出了 ［ 2 - ］ ’ ! 硅微机械滤波器振模型 许多种结构形式的微机械滤波器 。由于频率选 图 是常见的两个振动自由度的静电梳驱动折 择的需要，微机械滤波器带宽必须非常精确，这就要 叠梁微机械滤波器结构示意图。该结构是一平面结 求固有频率必须十分精确。但由于微加工工艺误差 构，在( 方向具有相同尺寸（厚度）。图中左端是梳状 的影响，固有频率不可能是理想值，如一个典型微梁 静电驱动端，其电容为) ，待处理的信号电压+ （ ）就 宽度制造误差可达 % ［( ］。目前广泛采用的固有频 * * 加在这一端；基底平面加有直流偏压 , ，且 , . . + ［. ］［3 ］ - - * 率补偿方法是所谓的改变直流偏压的“电调法” ， （ ）；两个梳状振子通过折叠梁、锚点支承分别与基底 它要求对每一个滤波器件都进行单独调试，批量生产 平面固定并高于基底平面% !4 ，两个梳状振子通过耦 时效率显然很低。文献［’ ］首次采用结构鲁棒设计方 合梁相连接。梳状振子在驱动端静电力作用下产生/ 法，以矩形作为振子基本形状，采用了网格状的“鲁棒 向振动；仅考虑交流项并忽略二次小项，则静电驱动 补偿孔”，设计了单个振动自由度的微机械谐振器，使 ［］［5 ］