电子倍增CCD性能参数测试方法研究-红外与激光工程.PDF

第 卷第 期 年 月 42 12 红外与激光工程 2013 12 Vol.42 No.12 Infrared and Laser Engineering Dec.2013 电子倍增CCD 性能参数测试方法研究 张 闻文 ，钱 月红 ，陈 钱 ，顾 国华 ( 南京理 工大学 电子 工程 与光 电技 术 学院 ，江苏 南京 210094) 摘 要： 电子倍 增 CCD (EMCCD)性 能参数 测试是 电子倍 增 CCD 芯片及其成像 系统研制 的重要 辅助 手段和设计依据 。 在对 EMCCD 的工作原理进行 了阐述之后 ，介 绍 了 EMCCD 的各项特性参数 ，分析 了相 关参数 的测试方法。 针 对测试过程 中出现 的单位 转换 问题 ，引入 了转换增益 的概念 ，提 出了基 于 改进 的光子转移技 术的 EMCCD 性 能参数 的测试方 法 ，建立 了 EMCCD 性 能参数 测试 系统 ，该 系统 包 括 高稳 定度 可控标 准钨 灯 、光 学 系统 、暗箱 、数据采集与处理 系统等 。 对 Andor Luca 相机 的转换增益 、 满 阱容量 、倍 增增益 、读 出噪声、时钟诱 导噪声和 暗 电流进行 了测试 。 实验 结果表 明: 测试值 与相机 的 指标值基本一致 ，测试结果准确 ，证 明 了所提 出的测试方法有效可靠 。 关键词： 电子倍 增 CCD ； 测试 ； 光子转移技 术 ； 转换增益 ； 噪声 中图分类号： TN223 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2013) 12-3390-06 Performance parameters test of electron multiplying CCD Zhang Wenwen , Qian Yuehong, Chen Qian , Gu Guohua (School of Electronic Engineering Photoelectric technology, Nanj ing University of Science Technology, Nanj ing 210094, China) Abstract : The performance test of Electron multiplying CCD (EMCCD) is an important adjunct and design basis of electron multiplying CCD chip and the whole imaging system . In this paper , the working principles of EMCCD were introduced, and then the characteristic parameters of EMCCD was presented . Aiming at the problem of unit conversion in the process of testing, the concept of conversion gain was introduced .The parameters test of the electron mu