氧化镍薄膜气体传感器性能提升_李佳言.pdfVIP

第 14 卷第 2 期 功能材料与器件学报 .14, .2 2008年 4 月 ., 200 8 文章编号:1007 -4252 (2008 )02 -0394 -05 氧化镍薄膜气体传感器性能提升 1 2 2 2 3 李佳言, 张金龙, 戴昌贤 , 林秋丰, 傅龙明 (1.大叶大学机械与自动化工程学系, 彰化 515;2.屏东科技大学车辆工程系, 屏东 912; 3.屏东科技大学材料工程系,屏东 912 ) 摘要:本文的目的在于优化甲醛气体传感器。微型甲醛气体传感器设计是以石英玻璃当作基材, 白 金 ()被当作微型加热器电阻来加热感测层,并以氧化镍 ()薄膜作为感测层。当环境内有甲 醛气体存在时, 薄膜层上导电度会增加, 因而导致感测层电阻值降低。此微传感器,膜厚为 0. 34μ,在 300℃反应时间只需 6秒, 灵敏度可达 13.5 Ψ/, 最低侦测限度可以量测到 40 。 而本研究中针对不同的甲醛气体浓度, 分别添加金当其催化剂、玻璃基材上共溅镀氧化镍与氧化 铝、并比较有无指叉电极、改变基材温度…等, 以提升其氧化镍薄膜感测性能。 关键词 :甲醛;氧化镍薄膜;微传感器 中图分类号:30 8　　文献标识码: 1 2 2 2 3 -, -, -, -, - (1., -, -515, ;2., , 912, ;3., , 912, ) : .- ()., .0.34 μ, 6 , 13.5 /40 . , , -/, 2 3 . :;; 收稿日期:2007-07-31;　　修订日期:2007-09-22 作者简介:李佳言(1967- ), 男, 士, 副教授 (-:@...). 通讯作者:傅龙明, 男, 士, 副教授 (-:@...). 2 期　　 　李佳言, 等:氧化镍薄膜气体传感器性能提升　　　 395 0　引言 甲醛气体靠近感测层时会发生催化反应,其化学反 应式如下: 近年来, 由于环保意识的抬头,大众对于空气质 ()+1/2 ()※() (1) 量的要求日渐提升。而现代人处于室内环境的时间 2 ()+ ()※ ()+ () 与日俱增,统计报告指出,一般人平均一生中有 58 2 2 2 -78%的时间待在室内,而在一天当中更有 90%的 (2 ) 时间是在室内环境渡过。室内建材在加工制造的过 其反应发生时会产生蚁酸或者二氧化碳以及 程中, 所使用的许多化学物质, 例如油漆、胶类及清 水, 当氧化镍与甲醛发生反应后, 会改变氧化镍本身 洁剂所散发的挥发性有机化合物和室内装饰物及家 电导率大小,我们可以从电