单模光纤与soi纳米线波导耦合设计 coupling design between single-mode fiber and soi nanophotonic waveguides.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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单模光纤与soi纳米线波导耦合设计 coupling design between single-mode fiber and soi nanophotonic waveguides.pdf

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单模光纤与soi纳米线波导耦合设计 coupling design between single-mode fiber and soi nanophotonic waveguides

2们年3胄电子测试 Mar．201 蔫3ml ELECTRONICTEST No．3 单模光纤与SOI纳米线波导耦合设汁★ 曹敏，陈够喜，仝晓刚 (申北大学电子与计算机科学技术学院，山西太原030051) 摘要：波导光栅在集成光学发展中扮演着重要的角色。与其他的耦合方法相比，光栅耦合器具有耦合效率高、制备封装成本低、无需芯片端面抛光、可以在任何地方实现信号输入输出等优点，成为纳米光波导最有潜力的耦合方法。本文提出利用OPTIFDTD软件仿真结合MATLAB编程的方法精确计算光栅耦合效率的新方法。仿真分析了光栅的周期、槽深、占空比、Si02层厚度等光栅参数对耦合效率的影响，并给出了使输入光栅耦合器耦合效率达到42．6％；输出光栅耦合器的耦合效率达到72．3％的一组最佳光栅参数。关键词：集成光学；SOl纳米线波导；光栅耦合器；耦合效率中图分类号：TC410文献标识码：A 、 between fiberandSOI Couplingdesign single。一mode nanophotonicwaveguides Cao Min，Chen Gouxi，TongXiaogang ofElectronicsand Scienceand (School 030051，China) Computer Technology，NorthUniversityofChina，Taiyuan structureshavebeen ail roleinthe of Abstract：Waveguide important developmentintegrated grating playing optics． other owns wafer efficiency，enables Compared耐dlnanophotoniccouplingstrategies，gratingcouplinghighercoupling scale ofthe circuitsandholdsthe oflow—COSt these i“∞it advantages testing integrated promise packaging．etc．All themost method