带复合掺杂层的inp基hbt新结构 novel structure of inp based hbt with composite doping layer.pdfVIP

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带复合掺杂层的inp基hbt新结构 novel structure of inp based hbt with composite doping layer

器件制缝与应国 ofDevice M蛐证∞嘣ngmdApplicmiee 带复合掺杂层的InP基HBT新结构 江琳琳,李轶群,崔海林,黄辉,黄永清,任晓敏 (北京邮电大学光通信与光波技术教育部重点实验室,北京100876) 一种新的集电区外延结构,该结构在集电极区和次集电区之间插入一层特定厚度的P.InGaAs和 两层特定厚度但不同掺杂浓度的n.hlP层,从仿真结果出发对各种不同结构做出分析,发现这种 新结构克服了双异质结双极晶体管的电流阻挡效应,同时很好地解决了传统的双HBT(DHBT) 的电子堆积效应和SHBT反向击穿电压低的问题。 关键词:异质结双极晶体管;复合集电区;势垒尖峰 中图分类号:TN305.3;TN385文献标识码:A Novel ofInP with StructureBasedI-IBT CompositeDopingLayer Linlin,LiYiqun,Cui Xiaomin Jiang Hailin,HuangHui,HuangYongqing,Ren Com谳n Education, (KeyLab.ofOpti∞l of and啪伽‰fDg妇,Ministry Postsand Beijing of Te/ecommun/cat幻ns,Be/ring100876,Ch/na) University basedHBTusedfor a Abstract:InP circuits)wasanalyzed,and OEIC(optoeleetrorticintegrated novelcollectorstructurewas Wagachieved andtwon—InP layer proposed,whichbyintroducingp-hGaAslayer with thicknessand levelbetweenthecollectorandthesubcoUector.Thenovelstructure hyersspecific doping overcomestheelectron effectinDHBTandsolvesthetraditional ofreversedbreakdown blocking problem for inSHBT.The collectorstructureissuitable voltage composite integrated p-i-nphotodetector. collector;barrier Keywords:heterojunctionbipolartransistor(HBT);compositespike 。 EEACC:2560J

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