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带复合掺杂层的inp基hbt新结构 novel structure of inp based hbt with composite doping layer
器件制缝与应国
ofDevice
M蛐证∞嘣ngmdApplicmiee
带复合掺杂层的InP基HBT新结构
江琳琳,李轶群,崔海林,黄辉,黄永清,任晓敏
(北京邮电大学光通信与光波技术教育部重点实验室,北京100876)
一种新的集电区外延结构,该结构在集电极区和次集电区之间插入一层特定厚度的P.InGaAs和
两层特定厚度但不同掺杂浓度的n.hlP层,从仿真结果出发对各种不同结构做出分析,发现这种
新结构克服了双异质结双极晶体管的电流阻挡效应,同时很好地解决了传统的双HBT(DHBT)
的电子堆积效应和SHBT反向击穿电压低的问题。
关键词:异质结双极晶体管;复合集电区;势垒尖峰
中图分类号:TN305.3;TN385文献标识码:A
Novel ofInP with
StructureBasedI-IBT CompositeDopingLayer
Linlin,LiYiqun,Cui Xiaomin
Jiang Hailin,HuangHui,HuangYongqing,Ren
Com谳n Education,
(KeyLab.ofOpti∞l of
and啪伽‰fDg妇,Ministry
Postsand
Beijing of Te/ecommun/cat幻ns,Be/ring100876,Ch/na)
University
basedHBTusedfor a
Abstract:InP circuits)wasanalyzed,and
OEIC(optoeleetrorticintegrated
novelcollectorstructurewas Wagachieved andtwon—InP
layer proposed,whichbyintroducingp-hGaAslayer
with thicknessand levelbetweenthecollectorandthesubcoUector.Thenovelstructure
hyersspecific doping
overcomestheelectron effectinDHBTandsolvesthetraditional ofreversedbreakdown
blocking problem
for
inSHBT.The collectorstructureissuitable
voltage composite integrated
p-i-nphotodetector.
collector;barrier
Keywords:heterojunctionbipolartransistor(HBT);compositespike
。
EEACC:2560J
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