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　　　 　　　 　　　　　　　　 　　　　 　;目 录;第一部分 RENA清洗机设备概况;1.1 RENA清洗机的组件;1.1.1 RENA整机;*;1.1.2 冷却器;1.1.3 电控柜外部;1.1.4 电控柜内部;1.1.5 化学品输送及排风管道;1.1.6 气、水输送管道;1.1.7 热风系统;InTex;1.2.2 工作流程; ;内部和表面绒面;制备绒面的目的及机理;碱洗（KOH）的目的及机理;酸洗(HF、HCL)的目的及机理; ; ;碱洗（KOH）的目的及机理;酸洗(HF)的目的及机理;1.3 RENA操作系统主界面;1.3.1 InTex操作系统主界面;1.3.2 InOxSIde操作系统主界面;1.3.3 RENA主界面详细说明;1.3.3 RENA主界面详细说明;1.3.3 RENA主界面详细说明;1.3.3 RENA主界面详细说明;1.3.3 RENA主界面详细说明;1.3.3 RENA主界面详细说明;;RENA刻蚀槽界面介绍;RENA刻蚀槽功能;2）RENISE1界面;RENISE1功能;3）RENA碱槽界面;碱槽功能;4）RENISE2界面介绍;RENISE2功能;5）HF槽界面介绍;HF槽功能;6）RENISE3界面介绍;RENISE3功能;7）DRYER2功能;DRYER2功能;8）COOLINGUNIT功能;COOLINGUNIT功能;9）RENA传动功能;RENA传动功能;10）RENA剂量瓶;RENA剂量瓶;HON3的添加桶下方与其他三个添加桶不同,只有一个RV880/45,这个限流阀是生产过程中微量补液用的,而在第一次配槽时HNO3是不经过剂量瓶,由流量计控制直接进储液箱的,KOH,HF都是从剂量瓶往槽内添加.所以配槽时由于HNO3的管路不同,剂量瓶也和其他三个剂量瓶不同.;第二部分 单晶清洗机设备概况2.1 制绒机;2.1 制绒机;2.2 扩散前酸洗机;2.2 扩散前酸洗机;2.3 去PSG酸洗机;2.4 电气控制柜;2.5 甩干机;2.5 甩干机;第三部分 RENA管路图3.1 管路图部件标示 3.1.1 阀门;3.1.1 阀门;常闭气动球阀;3.1.1 阀门;3.1.1 阀门;3.1.2 流量控制;3.1.3 泵;3.1.4 传感器及其它;3.2 RENA各工艺槽管路图（详见RENA电路图）3.2.1 制绒槽（HF+HNO3）;3.2.1 制绒槽（ HF+HNO3）;3.2.1 制绒槽（ HF+HNO3）;3.2.2 漂洗1及碱槽（KOH）;3.2.2 漂洗1及碱槽（KOH）;3.2.3 漂洗2;3.2.3 漂洗2;3.2.4 酸槽（HF+HCI）;3.2.4 酸槽（HF+HCI）;3.2.5 漂洗3;3.2.5 漂洗3;3.2.6 热风刀 ACD;3.2.6 热风刀 ACD;急停开关;急停开关;4.1.1 开关;4.1.2 传感器;4.1.3 电机;4.1.4 其它常用部件;4.2 气动控制;4.2 气动控制;4.3 RENA高低压控制;4.4 PID温度控制;4.4 PID温度控制;滚轮;涡轮箱;第六部分 西门子 PLC6.1 西门子SIMATIC S7-300 PLC简介;6.2 STEP 7编程软件概述;6.2 STEP 7编程软件概述;梯形图编辑;典型梯形图实例;