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第卷第期光学精密工程年月镜面面型误差的曲面方程处理方法吴清文中国科学院长春光学精密机械研究所长春摘要在论述多项式的优缺点的基础上提出用曲面方程处理方法来处理镜面面型最后讨论了曲面方程法的适应性和局限性关键词面型误差最小二乘法均方根引言镜面表面变形带来了光学性能的降低对于天文光学和空间光学中的小像差系统比较适合于用变形引起的波面误差镜面的起伏的方法来评价镜面的面型质量自从年构造出多项式以来它一直被光学界用以表示镜面面型或光学系统的波差并在工程项目中得到广泛应用是因为它具有如下两方面的优点在单位圆上
第 6 卷 第 6 期 光学 精密工程 . 6, . 6
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1998 年 12 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G D ecem b er, 1998
镜面面型误差的曲面方程处理方法
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