扫描电镜及能谱分析试验指导书试验目的1结合扫描电镜实物.docVIP

扫描电镜及能谱分析实验指导书 实验目的1. 结合扫描电镜实物，介绍其基本结构和工作原理，加深对扫描电镜结构及原理的了2. 选用合适的样品，通过对表面形貌衬度和原子序数衬度的观察，了解扫描电镜图像衬度原理及其应 扫描电镜的基本结构和 扫描电子显微镜利用聚电子束在样品表面逐点扫描，与样品相互作用产生各种物理信号，这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号，最后在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大连续可调、分辨率高、样品室空间大且样品制备简单等特点，是进行样品表面研究的有效分析工具。 扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多，一般约在1~30 kV，实验时可根据被分析样品的性质适当地选择，最常用的加速电压约在20 k左右。 扫描电镜的图像放大倍数在几十倍到几十万倍可以实现连续调整，扫描电镜放大倍数等于荧光屏上显示的图像长度与电子束在样品上扫的实际长度之比。扫描电镜的电子光学系统与透射电镜有所不同，其作用仅仅是提供扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。扫描电镜最使用的是二次电子信号和背散射电子信号，前者用于显示表面形貌衬度，后者用于显示原子序数衬度。 扫描电镜的基本结构可分为六大部分真空系统电子光学系统、扫描系统、信号放大系统、图像显示和记录系统、电源控制系统。 扫描电镜的优点之一是样品制备简单，对于新鲜的金属口样品不需要做任