多晶硅还原炉倒棒原因探讨 downfallen of polysilicon filaments in polycrystailine silicon cvd reactor.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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多晶硅还原炉倒棒原因探讨 downfallen of polysilicon filaments in polycrystailine silicon cvd reactor.pdf

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多晶硅还原炉倒棒原因探讨 downfallen of polysilicon filaments in polycrystailine silicon cvd reactor

多P三翘查黝料 doi：10．3969／j．issn．1003—353x．2010．10．011 多晶硅还原炉倒棒原因探讨柯曾鹏，杨志国，刘欣，宗文婷 (华陆工程科技有限责任公司，西安710054) 摘要：多晶硅生产过程中的倒棒现象将给多晶硅生产企业带来巨大的经济损失和安全风险。通过对多晶硅生产中还原炉倒棒现象的总结分析，发现还原炉系统设备自身问题、硅芯质量及安装缺陷和硅棒生长中的工艺控制不当是造成还原炉发生倒棒的主要原因，通过优化还原系统设备、提高安装操作水平等措施控制和预防还原炉的倒棒问题。关键词：多晶硅；还原炉；硅芯；沉积过程；倒棒文献标识码：A 中图分类号：TQl27．2 Downfallenof Filamentsin Silicon Polysilicon Polycrystailine CVDReactor Ke Zhiguo，LiuXin，Zong Zengpeng，Yang Wenting and (HualuEngineeringTechnologyCo．，Ltd．，Xi’an710054，China) Abstract：Thedownfallenof filamentswill lossand hazardto of polysilicon bringhuge safety producers causesfordownfallenof filamentsin siliconCVDreactorwere polysilicon．The polysilicon polycrystalline showthat matterofCVDreactor and of results the analyzed．The system，thequalitysettingpolysilicon filamentsandthecontmlofthe arethemainfactors thedownfallenofpolysilicon operation influencing tothesedifferent CVDreactor and installlevelsale filaments．Accordingcauses，optimizingsystemimproving thesolutionsto downfallenof filaments． prevent polysilicon of Keywords：polysilicon；CVDreactor；polysiliconfilaments；depositionprocess；downfallen filaments polysilicon EEACC：2520 于半导体工业和太阳电池的发展，高纯度多晶硅的 0 引言需求不断增加。多晶硅是制造集成电路衬底和各种半导体器件目前国际