多晶硅铸锭炉加热室的设计 design about the heating chamber of polycrystalline silicon ingot production furnace.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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多晶硅铸锭炉加热室的设计 design about the heating chamber of polycrystalline silicon ingot production furnace.pdf

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多晶硅铸锭炉加热室的设计 design about the heating chamber of polycrystalline silicon ingot production furnace

电字工业专用设蚤 ·专题报道· 多晶硅铸锭炉加热室的设计陈国红1、v，王晓军2，姚文军3，苏文圣3 (1、国防科学技术大学研究生院，湖南长沙410073；2、湖南证兴设备安装工程有限公司，湖南株洲412003；3、中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南长沙410111) 摘要：加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一。多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调整来实现。着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计。关键词：多晶硅铸锭炉；加热室；石墨加热器；隔热层中图分类号：TF063 文献标识码：A 文章编号：1004—4507(2007)07—0036．04 aboutthe Chamber0f Silicon Design Heating P0lycrystalline Furnace Production Ingot cHEN(mo—hon91”，wANGXiaojun2，YAOWen{un3，SUwen-shen窖 ofNationalDefencea11d (1、Graduatecollege Techllologyunivers毋Changsha410073，Hunan 2、HIlllan installation co；Ltd．zllu办ou412003，Hunan Zlleng)【inequipment engiIlee血g 4 11 3、The48mResearchIIlstmeofChinaElec仃onic 10 TechnologyGmupCompany，Changshal，Hunan) chamberis ofthe silicon mmace．Tech— production Abstract：HeatingpiVotalpart p01yc巧stallineingot the ofthe ch姗ber． of ofthe siliconisbasedon adjustmentheating niqueprocessgrowthp01yc巧stalline This introducethestmctureaboutthe chamberofthe sili— mainly heating p01ycrystalline paper design con mmace． ingotproduction silicon heaters；Ther— ingot chaIIlber；Graphite Keywords：P01ycrystallineproduction如mace；Heating ma】jns1】1a“on 多晶硅铸锭炉是用于铸造大型多晶硅锭的设