多线切割机轴辊温度智能控制 the temperature intelligent control of multi-wire saws roller.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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多线切割机轴辊温度智能控制 the temperature intelligent control of multi-wire saws roller

团笪星垦蚕基蚤』呈耋螫茎錾堑整剑鱼三茎皇塑鱼多线切割机轴辊温度智能控制张为强1，朱林涛1，李亚光2 (1．中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京100176； 2．有研半导体材料股份有限公司，北京100088) 摘要：多线切割机轴辊温度对于硅片表面质量，尤其是翘曲度有较大的影响。传统的PID控制方法由于其局限性难以满足实际生产的要求。提出一种智能PID温度控制方案，模拟人的控制策略及方法，结合经典PID方案进行轴辊温度控制。该方法简单有效、工作可靠，满足半导体用多线切割机的要求，并在实际工作中成功应用。关键词：多线切割机；轴辊温度控制；智能PID 中图分类号：TN305 文献标识码：A The Controlof TemperatureIntelligent Multi-wireSaw7SRoller ZHANG Linta01，LI Weiqian91，ZHUYaguan92 1 1 45mResearchInstituteof 00 (1．The 76，China； CETC，Beijing 2．GRINMSemiconductorMaterials 100088，China) Co．，Ltd．Beijing Abstract：Theroller’S ofMulti—wireSawhasa onthesilicon temperature largeimpact chip，especially iSdimculttomeettheactual of fortraditionalPIDbecauseofits warp．It requirementsproduction human limitations．This an PID simulatesthebehaviorof paperprovidesintelligentprogram，which withclassicPIDtocontroltheroller’S methodiS andeffective．It combining temperature．Thesimple Saw runs worksreliabletomeetthe ofMulti—wireforIC．It wellin requirement practicalapplication． controlof PID Keywords：Multi—wiresaw：Temperatureroller；Intelligent 多线切割机以其高效率、高精度、低损耗，所池和集成电路半导体器件。其中集成电路所用的切