非平面化型ito氮化镓基蓝光发光二极管 gan-based blue light-emitting diodes with a nano-roughened ito surface.pdfVIP

SEMICONDUCTOR0PToELECTRONICSVoI．28No．6 非平面化型邛O氮化镓基蓝光发光二极管 翁斌斌1，秦丽菲1，黄瑾1，尹以安1，刘宝林1’2，张保平1’2 (1．厦门大学物理系，福建厦门361005；2．福建省半导体照明工程技术研究中心，福建厦门361005) 摘 要： 将氧化铟锡(ITO)生长于氮化镓基蓝色发光二极管的出光台面上(p型GaN台面)。 用非平面化处理的方法制作出ITO井状结构，研制出非平面化型氧化铟锡一氮化镓基蓝色发光二 极管(I，ED)，获得了高的出光效率。结果表明，在20mA工作电流下，该蓝色发光二极管的出光光 强是平整的普通ITO—GaN基LED的1．35倍。 关键词： 发光二极管；氮化镓；氧化铟锡；出光效率 中图分类号：TN304文献标识码：A GaN—basedBlue Diodeswitha IToSurface Light—emitting Nan0-roughened WENG Li—feil，HUANGYi—anl，LIUBao一1inl～，ZHANG