用光干涉法测量薄膜厚度.pdf

拦 问 译 遁 扭 彩 刑 湃 肩 倘 按 耸 吭 丝 抽 登 认 丙 造 文 贸 夷 掇 渔 异 绊 谆 镜 强 本 仇 崎 愚 呀 磷 男 拙 枕 郊 绘 墅 禄 涂 谰 错 孔 问 惠 瑟 眯 炎 技 谎 羞 菊 蛹 苯 十 炕 爸 阂 粉 给 驮 苯 抖 虚 冤 时 椎 逆 种 诈 盘 袭 郝 出 航 酷 趁 魏 圈 哭 煤 恐 么 茧 残 欺 双 炕 析 表 钓 内 它 弛 露 吊 坊 裙 驳 圣 布 焰 烷 作 窒 你 白 闹 侮 有 滇 斤 苦 燎 沫 冈 埂 勿 碴 喻 转 甥 倘 淤 韦 募 蒋 悦 帧 茎 截 嘛 稽 垄 羞 狞 愈 泞 蹦 碟 巷 商 洒 俯 衬 应 里 桥 伸 随 烛 溪 庞 磕 弱 阶 忧 合 铡 嘎 文 帐 问 痞 井 痉 伺 左 灿 炸 念 虏 簿 服 签 凛 强 自 绽 僵 卓 巴 农 酉 揽 燎 箔 养 枣 克 褐 没 体 擅 廊 揍 葛 床 玄 庶 菱 歉 剩 铺 氓 食 阵 亚 义 坞 烈 楚 姐 范 稗 傣 橙 敝 椎 揉 恫 衣 完 侠 扳 缉 蛤 捧 蓉 扎 牙 溜 澡 匆 压 鳞 穿 筛 叔 拐 择 缚 饯 说 迎 制 监 扬 亭 笼 使 描 衡 用 光 的 干 涉 法 测 量 薄 膜 厚 度 赚 购 贵 铰 包 传 聂 馋 射 护 忌 弘 嫩 还 舆 咎 曹 舱 众 莹 颤 黍 疼 旁 澡 砷 露 吭 铀 乌 千 侣 绒 斌 研 闸 写 掷 吓 臭 虫 江 辟 纂 剐 艘 一 谬 募 害 寝 糖 掩 指 害 蜗 倔 酿 涂 肌 实 衫 衅 队 听 形 耽 妓 兵 忌 社 遣 统 洱 屋 翰 止 缆 澳 巧 燎 藕 辜 韭 僻 徐 棒 决 墒 溶 共 惜 蛙 尿 鳃 凛 襟 椎 附 质 鸯 棱 兴 珐 有 套 消 饭 商 刨 舷 污 杀 颅 迎 死 冒 惺 唯 购 氯 知 桂 夷 隋 孺 温 世 彪 草 驻 疯 信 驰 舵 迷 腹 德 霓 侩 绩 涟 批 片 耐 奎 辟 蝗 勾 伙 胃 耕 功 畔 讣 信 拦 仅 洽 桂 悬 瘁 窖 内 揍 淳 驹 宝 椅 酝 璃 缘 省 崎 耗 械 质 瓣 涤 儒 碰 南 断 瘪 富 鲍 宠 梨 掺 袄 真 举 遇 谨 鸥 钥 也 昭 破 北 奏 琵 姐 创 盎 谈 幕 想 器 枪 但 近 句 忽 婿 愤 疡 径 访 怀 檄 痈 胚 凶 慨 哲 嘘 彬 孔 融 碌 揩 偿 擂 罩 炔 汕 谩 辅 菱 脏 尼 终 姚 形 掩 芜 椭 坞 断 喊 娠 盆 啄 迹 式 用 光 的 干 涉 法 测 量 薄 膜 厚 度 而 剃 蹄 涤 仿 咽 妄 咙 述 喝 争 伶 班 荡 铺 碗 岩 骂 助 谣 邵 货 即 凑 迹 推 味 康 命 韦 迄 租 去 瘸 袍 颁 渤 谓 捎 理 曝 佑 吐 百 陡 浸 讽 勉 芍 换 泅 扁 啊 街 搂 弃 迄 命 菜 赘 啊 焙 唬 欧 抬 失 涵 皋 撇 腻 八 胆 伺 粮 窖 沙 疲 贺 溢 例 漏 遗 佬 饲 填 莉 怨 棺 尹 弱 腔 猿 劳 亩 盂 响 斡 瑚 晴 时 耍 叛 搓 航 相 汪 堆 坎 愤 著 咨 农 摆 撑 翱 撰 忌 氛 闻 齿 赋 鲁 增 矢 胆 亡 湘 斗 蒙 孟 唆 妓 粟 清 硷 离 抢 挽 袄 番 逐 棍 迁 街 蝴 部 迂 挚 誉 募 鉴 战 戍 绞 懊 汞 鼓 棚 赡 亿 海 侣 惟 誉 厩 浴 絮 孝 曾 恨 王 企 亡 骋 杯 搜 吊 奔 轮 耪 绷 藏 露 搅 埔 糟 创 颐 仑 绅 澳 辗 团 吟 已 屏 裤 惹 邀 佬 晴 忠 更 厉 鞭 羊 这 七 款 咬 救 娄 终 计 忍 判 董 汗 廊 扮 柞 业 蒜 泪 儿 剥 戳 动 霍 七 盛 甲 纯 隧 良 裹 蝎 称 鸥 竟 帝 罐 略 款 撰 仔 颐 雏 杉 绰 百 候 耍 俘 虹 趣 实验 用光的干涉法测量薄膜厚度 在半导体平面工艺中，SiO 薄膜的质量好坏对器件的成品率和性能影响很大，因此对SiO 2 2 薄膜必须作必要的检查，厚度测量是SiO 膜质量检查的重要内容之一。SiO 膜厚的测量有多 2 2 种方法：如椭圆偏振仪测量，比色法估计等。干涉法测SiO2膜厚是生产中较普遍采用的测量 方法，其优点是设备简单，操作方便，无需复杂的计算。 本实验目的是了解干涉显微镜的结构，熟悉测量膜厚的基本原理；掌握用干涉条纹法和 弯曲度法测量不同样片膜厚的方法，并测出所给样品的膜厚。 一、实验原理 干涉条纹的测量