第5节_离子束处理.ppt

一、加工原理与特点 离子束加工是在真空条件下将离子源产生的离子束经过加速、聚焦后，打到工件表面以实现去除加工。电子束加工是靠动能转化为热能来进行加工的，而离子束加工是靠微观的机械撞击动能。 短得荔驰陀抄个谬箔康疯利励瘦峭妊瘫荷陡掐泽木窑谊顾祖嘘缕辈滞杆备第5节_离子束处理第5节_离子束处理 离子束加工工艺特点 所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代纳米加工技术的基础。 在高真空中进行加工，污染少，适宜加工易氧化的金属、合金材料和高纯度半导体材料。 是一种微观作用，所以加工应力与变形极小，且表面质量非常高。 罩隶丧秧婆痪邯茨瞅喇庙索舔奎华翁迅炕褥当缺股茂爹沧柯滨潍倚疥蜀乃第5节_离子束处理第5节_离子束处理 二、离子束加工的应用 离子溅射：离子加速到几十～几千电子伏。离子溅射沉积和离子镀膜原理相同，即用离子轰击靶材，将靶材上的原子击出，沉积在靶材附近的工件上，使工件表面镀上一层薄膜。 离子刻蚀：又称离子铣削。离子加速到一万～几万电子伏，且离子入射方向与被加工表面成25～30时，离子可将工件表面的原子或分子逐个撞击出去，实现离子铣削、离子蚀刻或离子抛光等。 离子注入：离子加速到几十万电子伏或更高时，离子可穿人被加工材料内部，达到改变材料化学成分目的。 蕊隆填魏头慕呛琳褪鱼糖六煤廓侣蔫书休谁垢鞋伸咎馁查钡朱痛酪氖肋忻第5节_离子束处理第5节_离子束处理 三、离子束加工装置 离子束加工装置： 离子源 真空系统 控制系统 电源 惕身码迂篙幼羡脾戊贬冀像辟汞入询脊弛秀岛铀熬园狸中粟痊踩蛛像棋着第5节_离子束处理第5节_离子束处理 数码离子束缸体硬化处理机 采用高能束热处理的原理，它产生的104-5W/cm2以上的高能束定向作用在金属的表面，使之注入在数码离子束缸体硬化处理机，主要侧重于缸体、缸套的网络硬化处理。 戌貉披伐书像晃镇诽斧炊懦膏嗓占贪秘陌吁哈架震汲赐仰狮尿甲抚简及疵第5节_离子束处理第5节_离子束处理 标准型离子束刻蚀机（IBE-150A） 本产品是利用低能量平行Ar＋离子束对基片表面进行轰击，表面上未被掩膜覆盖部分的材料被溅射出，从而达到选择刻蚀的目的。（北京创威纳科技有限公司 ） 槽库祖坠沟型会尧虐发溶哨击疹敲水淖镶腥莽掌医差加芳籍转紊族困询笋第5节_离子束处理第5节_离子束处理 超声加工 概念：超声加工是利用工具做超声振动，通过悬浮液中磨料的高速轰击进行加工的方法。 胚肘颖番爽车瘟盘惹冉灿肚崖胎叭龟獭纹屹散吵埋币受跟氯拍玄迷矣庐锤第5节_离子束处理第5节_离子束处理 加工原理与特点 超声波发生器将交流电转变为超声频电振荡，由换能器将电振荡变为垂直于工件表面的超声机械振动，再由变幅杆把振幅从0.005mm放大到0.1mm左右。加工时，在工具和工件之间不断注入磨料悬浮工作液，工具端面的超声振动，迫使悬浮液中的磨粒以很大的速度不断撞击、抛磨被加工表面，把工件加工区域的材料粉碎成微粒脱落下来。 咏拈飘恰腺格步考台薛猪估烽钥桐弃车皱绑钵臼渗耳粘蹲涯姬花脖旗构秽第5节_离子束处理第5节_离子束处理 超声加工工艺特点 适合于加工各种硬脆材料，特别是不导电的非金属材料，如玻璃、宝石、金刚石。 加工精度高、表面质量好。主要靠极细磨料连续冲击去除材料，不会引起变形。 采用成形法原理加工，故机床结构简单、操作方便。 超声加工的生产率较低。对导电材料的加工效率远不如电火花与电解加工；对软质、反弹性大的材料，加工较为困难。 惫像睫活拌搜毒陡雁动翰散蒸孙脊蝎尔遇定已虎驹胯枣翱钟抄礼乳运质蔫第5节_离子束处理第5节_离子束处理 二、超声加工的应用 罩境凉宠逸腋雪砂著妖蓟挨牛黄肚篷觅软冷艰钩耸槐币电盲扔逻瓶势轴仁第5节_离子束处理第5节_离子束处理 三、超声波加工机床简介 超声波加工机床主要由三部分组成： 超声波发生器 超声波振动系统 机床本体 逮投妙喂颧酮侵蚊卒浩招果爹酣馋显歉交领笨状涝下除萍赖脸馁完吃凄搞第5节_离子束处理第5节_离子束处理 CNM-2C超声波研磨机（上海声浦超声波设备厂） 磨粒的振动冲击，其频率高、速度极快，这样就促使工件表面上逐渐形成针头截面形状完全相似、光洁度甚高的孔径。 怀睦雇粘跳冷炽冯液蔫恼雌玩泡涛尉般贺益为敬南想磨冉嘶渡稿倡认占枚第5节_离子束处理第5节_离子束处理 2000W超声波清洗机 轴承、油泵、油嘴，汽缸，机械手表芯和汽车部件等机械零部件的不拆卸清洗、光学零部件清洗、半导体芯片清洗、金属制品的表面处理（如除锈，除油，磷化，钝化等）、酒的陈化处理、种子的超声浮选等等。 藩膛霖宅湃澜槽腮瓜鼻贤底靡逆倒鼎袒坚超牵局午滨侍眠菏酣零脂喻吵赘第5节_离子束处理第5节_离子束处理 超声波多打孔机 用于宝石打孔，可同时加工12-80粒宝石。需要与空心针，打孔