国外对宇航用射频mems开关的研究 research to foreign rf mems switches for aerospace.pdfVIP

第2期 机 电 元 件 VoL29No．2 2009年6月 ELECTR0^佃C默NICALCO劓瑾．a小旺孙n苫 Jun20D9 国外对宇航用射频MEMS开关的研究 黄正1，王庚林2 (1．中国电子科技集团公司第四十研究所，安徽蚌埠233010； 2．北京市科通电子继电器总厂，北京 100054) 摘要：本文介绍了国外对宇航用射频MEMS开关的研究，包括其性能、结构、技术成熟度、生产制造、可 靠性及环境应力。 关键词：宇航；MEMS；射频开关；可靠性 中图分类号：TM58文献标识码：A 文章编号：1000-6133(2009)02-0048—06 现信号噪声。在高于1GHz一2GHz的信号频率时， 1 引 言 固态开关的插入损耗和隔离会严重恶化。 最近的十年时间，美国宇航局(NASA)、美国继 MEMS技术的发展便于制造微型的机电和电子 电器开关行业协会(RSIA)和美国法国德国日本等元件。通过使用微型机电结构，MEMS射频开关具 有常规机电开关的低插入损耗、高隔离、良好线性度 国的多家公司对射频MEMS(微机电系统)开关进 行了大量的研究。本文综合这些研究，述评国外对 的优点以及固态开关的功耗低、质量小、寿命长的优 宇航用射频MEMS开关的研究开发和应用状况。 点。表1给出了MEMS静电开关、PIN二极管开关 和FET开关的参数，通过比较发现：射频MEMS开 2 射频开关的性能 关在插入损耗(O．2 射频开关用于各种商业、航天和国防领域，包括 卫星通讯设备、无线通讯设备、雷达设备和仪器仪表 等。而要选择合适的射频开关，必须首先考虑其性 开关的切换速度较慢、承载功率能力较低。射频 能，例如频率带宽、线性度、承载功率、功率消耗、开 MEMS开关的这些特点加上高可靠性和长寿命方面 关速度和允许的损耗等。 的潜力，使其成为解决现有低功率射频技术的突破 传统的机电开关，例如波导和同轴开关，具有低 方向。 插入损耗、高隔离和良好的功率承载能力，但是其功 3 射频MEMS开关的结构 耗大、速度慢，应用也不可靠。当前以PIN二极管和 FET(场效应管)为主的固态射频开关具有切换速度 国际上研究的射频MEMS开关的结构，最初是 快、成本低和可靠性高的特点。但固态开关仍受到 从电磁型开始的，先后又有磁保持型、静电型和热变 线性度较差和频率带宽的限制。当在较高的射频功 形型。目前，串联射频MEMS开关和并联射频 率下工作时，非线性开关会出现频谱扩散，形成分配 MEMS开关都在研发当中，最常见的是静电型的串 频带以外的能量，造成对附近频道的功率干扰并出 联接触开关和并联电容开关。 收稿日期：2009—04—14 万方数据 第2期 黄正等：国外对宇航用射频MEMS开关的研究 49 表1 FET、PIN二极管和射频MEMS静电开关的性能比较 参数射频 MEMS PIN二极管 FET 偏置电彤Vd．C． 20—80 ±3—4-5 3—5 偏置电渺mA O