高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究 study of temperature control in diffusion furnace for high resistance crystalline silicon cells.pdfVIP

材料制备工艺与设备 电 子 工 业 专 用 设 备 1D 高阻晶体硅电池扩散炉温度控制 的研究 毛朝斌，陈特超，李 克，林伯奇 (中国电子科技集团公司第四十八研究所 国家光伏装备工程技术研究中心，长沙 410111) 摘 要 ：介绍 了一种用于太阳能电池 高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统 ，该系统结构简单 ，控 制效果 良好 ，能满足 601)以上高阻的生产要求。 关键词 ：串级控制 ：扩散炉；PID 中图分类号 ：TM914．41 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004．4507(2012)04．0020—04 StudyofTemperatureControlinDiffusionFurnaceforHigh ResistanceCrystallineSiliconCells M AO Zhaobin，CHEN Techao，LIKe，LIN Boqi (The48thResearchInstituteofCETC，Changsha410111，China) Abstract：Thesystem oftemperaturecontrolfordiffusionfurnacehasbeenintroducedinthispaper， which isusedofrsolarcelldiffusion process．Thissystem issimplein structureand good control result．Itcansatisfyproduc-tionrequirementsfortheabove60Q hi resistance． Keywords：Cascadeconrtol；Diffusionfurnace；PID 随着 晶体硅 电池产业 的快速发展，电池片生 艺温度 ，这种方式简单、容易操作，但这种方式工艺 产厂家为了提高 电池片的转换效率，对 电池生产 回温时间长，炉 内温度不精确，抗干扰能力不强，已 设备的要求也不断提高。扩散设备作为生产光伏 经不能满足客户对高阻扩散工艺的要求 【】2【】。中国 电池的主要设备，其性能和生产效率尤其受到广 电子科技集 团公司第 四十八研究所研制了一种温 大光伏 电池生产厂家的关注，电池生产厂家要求 度串级控制系统的新型扩散炉。这种温度串级控制 提高的方块 电阻，提高电池扩散后片内方块 电阻 方式能很好地弥补这些缺点，达到比较理想的控制 和片间方块 电阻的均匀性等方面 以提高 电池的效 效果，在性能方面 已经达到国外同类产品的水平 ， 率及使用寿命 。以前采用的是单回路控制炉管加 并已经出口到阿联酋等国家的光伏 电池生产厂家， 热，通过控制炉壁的温度来达到控制炉膛 内的工 客户反映效果 良好 。 收稿 日期 ：2012—03．30 万方数据 ■ 电 子 工 业 专 用 设 备 辩嚣|=tl Pr0 Manufactu 材料制备工艺与设备 2温度控制系统 2．1串级控制原理 串级控制系统一般 由主、副两个回路构 成 ，被控量 的反馈形成主 回路 ，另外一个对 被控量起主要影响的变量选做辅助变量形 成副回路 。串级控制与单 回路的区别在于副 图 3 传 递 函数 方框 图 回路的给定值不是常量，而是变量 ，它的变 其 中： 化情况由被控量通过主调节回路 自动校正。 R(s)一设定温度 的传递函数； 扩