材料特性对亲水性固结磨料研磨垫加工性能的影响.PDFVIP

第 11 卷 第 1 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vol. 11 No. 1 20 13 年 1 月 Nanotechnology and Precision Engineering Jan. 20 13 材料特性对亲水性固结磨料研磨垫加工性能的影响 ， 1 2 1 1 1 1 朱永伟 ， 付 杰 ， 居 志兰 ， 唐 晓骁 ， 李 军 （1.摇南 京航 空航 天 大学机 电学 院 ，南 京 2100 16 ； 2. 江苏省精 密 与微 细制造 技术 重 点 实验 室 ，南 京 2100 16 ） 摘 要 ：为研 究材料 特 性 对 亲水性 固结磨料研 磨 垫 的加 工性 能影 响 ，本 文研 究 了K9玻 璃 和硅 片 两种 材料 在 不 同加 工 顺序 下研 磨 过程 中的声发 射信 号和摩擦 系数 特征 ，采 用扫描 电镜 分析 磨屑 的尺 寸与形 态.结果表 明 ：不 同加 工顺序 下 工件 的材料 去 除速 率差 别很 大. 与 直接研 磨硅 片相 比 ，先研 磨K9玻 璃再研 磨硅 片 ，硅 片 的材料 去 除速 率 大幅 下 降 ；相 反 ，先研 磨硅 片再研 磨K9玻 璃 ，与 直接研 磨K9玻 璃相 比 ，K9玻 璃 的材料 去 除速 率 变化 不 大. 无论 采 用哪 种加 工顺序 ， 后研 磨 的工件 表 面粗糙 度 均 比直接 研 磨 的 同种 工件要 大. 扫描 电镜 的分析 表 明 ，硅 片 的磨 屑 尺 寸 集 中在600 nm~1.5 μm ，磨屑 大部 分都 棱 角完整 ；而K9玻 璃 的磨屑 尺 寸 集 中在300 nm~500 nm左右 ，无 明显棱 角. 硅 片磨 屑 较 大的尺 寸 与 完整 的棱 角促 进 了研 磨 垫 的 自修 正过程 ，所 以硅 片这 类脆 性较 大的材料 有利 于研 磨 垫 的 自修 正过程 . 关键 词 ：材料 特性 ； 固结磨 料研磨 垫 ； 材料 去 除速率 ； 表 面粗糙 度 ； 自修 正 中图分 类 号 ： 文献标 志码 ： 文章编 号 ： （ ） TQ164 A 1672鄄6030 20 13 0 1鄄0051鄄06 Influence of Material Characteristics on Machining Performance of Hydrophilic Fixed Abrasive Pad ， 1 2 1 1 1 1 Zhu Yongwei ， Fu Jie ， Ju Zhilan ， Tang Xiaoxiao ， Li Jun （1.摇College of Mechanical and Electrical Engineering ， Nanjing University of Aeron