激光烧蚀一电感耦合等离子体质谱技术在材料表面微区-仪器信息网.PDFVIP

第 34卷 ，第8期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 Vo1．34，No．8，pp2238—2243 2014年 8月 SpectroscopyandSpectralAnalysis August，2014 激光烧蚀一电感耦合等离子体质谱技术在材料表面 微 区分析领域的应用进展 张 勇 ，贾云海 ，陈吉文 ，沈学静 ，刘 英 ，赵 雷 ， 李冬玲 ，韩鹏程。，赵 振。，樊万伦 ，王海舟 1．钢铁研究总院，北京 100181 2．北京有色金属研究总院，北京 100088 3．钢研纳克检测技术有限公司，北京 100094 4．重庆大全新能源有限公司，重庆 404000 摘 要 激光烧蚀一电感耦合等离子体质谱 (LA-ICP-MS)技术不仅可以对导体及非导体进行元素的成分含量 分析，而且还可进行元素分布及涂层深度表面微区分析，故在元素分析领域引起广泛的关注。主要介绍 了 LA-ICP-MS的仪器装置及其表面微区分析理论，同时对LA-ICP-MS在钢铁、有色金属及半导体等材料科学 领域中的元素分布及涂层深度表面微区分析应用进展情况进行回顾，与 sEM／EDs(扫描电子显微镜／能谱 仪)、EPMA(电子探针微区分析)、AES(俄歇电子能谱)等传统经典的表面分析方法的比较，LA-ICP-MS具 有无需或很少样品制备、空间分辨率可调、多元素同时分析及灵敏度高等优点，目前 LA-ICP-MS已成为这 些经典表面微区分析工具强有力的补充。随着 LA-ICP-MS分析技术进一步的发展与成熟，相信不久的将来 越来越多的元素分析工作者会使用这一强有力的分析工具，它像 LIBS(激光诱导击穿光谱)一样，将会成为 元素分析领域非常耀眼的一颗新星。 关键词 激光烧蚀 ；电感耦合等离子体质谱仪(ICP／MS)；材料科学；表面微区分析 中图分类号：0657．3 文献标识码：A DOI：10．3964／j．issn．1000—0593(2014)08—2238—06 些传统经典表面分析工具强有力的补充。关于 LA4CP-MS 引 言 综述性文章国N~,bElsqs]已有许多学者对其进行了精彩的论 述 ，针对LA-ICP-MS在材料科学领域中的应用进展进行回 自1985年 ICP-MS奠基人之一 Gray~ll发表第一篇关于 顾 ，介绍 了LA-ICP-MS仪器装置、表面微区分析理论基础 激光烧蚀进样系统与电感耦合等离子体质谱联用技术 (LA_ 及在材料科学领域中的应用情况，并对其发展前景进行了展 ICP-MS)以来，LA-ICP-MS由于具有无需或很少样品制备、 望 。 灵敏度高及动态线性范围非常宽且可多元素同时测定等优 点，故在生命科学[]、材料科学 ]、硅酸盐工业 -7l，地 l LA-ICP—MS仪器装置 质L8]及环境_1 等领域引起广泛关注。从 LA-ICP-MS在 材料科学应用角度出发，可分为成分分析及表面微区分析两 LA-ICP-MS通常由激光烧蚀进样系统及 ICP-MS两大 大分支，表面微区分析又可分为横向的元素分布分析及纵向 部分组成，激光与物质相互作用产生气溶胶，样品气溶胶在 的深度分析两个方 向，与传统扫描 电子显微镜／能谱仪 载气携带作用下，进入到ICP等离子体中，在高温等离子体 (SEM／EDS)、电子探针微区分析 (EPMA)、二次离子质谱 中进一步气化、原子化及 电离，产生的离子被质谱仪所检 (SIMS)及俄歇电子能谱 (AES)等表面分析技术相比，由于 测，其仪器装置见图1。 其灵敏