叠层式微位移驱动器.pdf

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2017-08-16 发布于天津
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叠层式微位移驱动器

Sinoceramics,Inc.Proprietary Information SINOCERA SPECIFICATION Page 1 of 4 REVISIONS REV DESCRIPTION DATE APPROVED 1 Initial Release 03/10/2003 Weidong Zhang 2 Revision 03/30/2003 Henry Chen NO.: S- I50-11C DATE: 2003-3-30 叠层式微位移驱动器 S-150- 11C 规格书 Sinoceramics, Inc. Sinoceramics,Inc.Proprietary Information SINOCERA SPECIFICATION Page 2 of 4 REVISIONS REV DESCRIPTION DATE APPROVED 1 Initial Release 03/10/2003 Weidong Zhang 2 Revision 03/30/2003 Henry Chen 叠层式微位移驱动器 1. 应用领域叠层式微位移驱动器 (S- I50-11C), 是一个应用广泛的位移控制系统，其可应用于光纤对接，光学微处理系统，医疗科学，集成电路制造，精密加工领域。超薄的压电陶瓷芯片被叠层在一体，具有了保持高灵敏度，低电压、微位移、大驱动力，高稳定性优势 SS304 Case package Stack 2. 型号 S-I50-11C 3. 结构单位: mm 5.1