第6章扫描电子显微镜.ppt

第六章 扫描电子显微书;Lettuce Field(16M DRAM);1. Resolution Improvement;眩播绞耽婚壮圈冯绊睦咆搪宜沽申现阐焦履森慧瘴铰援姆家歌压尖敷逢垦第6章扫描电子显微镜第6章扫描电子显微镜;New S-4800 FE-SEM ;Configuration of a scanning electron microscope;Comparison among OM, TEM and SEM;第一节结构原理;SE Detector;PG1;Image;FE Tip;Energy Spread Effect of chromatic aberration ;Wehnelt;In-Lens Type (S-5200);Out Lens Type (W-SEM, S-4300);Snorkel Type (S-4700 S-4800);The illumination angle (α) of a scanning electron microscope;;Primary　beam;Primary Electron Beam ;Astigmatism correction method;Photomultiplier;第二节分辨率和放大倍数;三、入射电子在试样内的激发区域 入射电子在被散射或吸收之前，将在试样表面下的某个距离R范围内运动，并激发各种射线。这些射线的能量或穿透能力各不相同，只有一定深度一定能量的射线才能逸出表面，被检测到。对于一般元素而言，电子束与试样作用，激发区域是一个梨形作用区。对重金属而言，此激发区域是一个半球形区域。不同的信号来自此激发区内不同的深度。;－; ;Secondary Electrons Carrying Surface Information Of Specimen ;1kV;↓;第三节 电子束与试样相互作用激发的各种信号及工作方式;四、透射方式------透射电子 透射电子中既有弹性散射电子也有非弹性散射电子。其能量大小取决于试样的性质和厚度。可以显示成分分布。 五、俄歇电子方式------俄歇电子 能量极低，具有元素的特征能量，适合于做表层成分分析。 六、X射线方式------特征X射线 高能入射电子轰击固体试样，就好像一只X射线管，试样是其中的靶。特征X射线的波长因试样元素不同而不同，其相对强度与元素含量有关。 七、阴极发光方式------可见光 有些物质在高能电子束轰击下会发光，发光波长与杂质原子和基体物质有关。对发光光谱做波长分析，可以鉴别出基体;物质和所含的杂质。用光电倍增管接收、成像就可以显示杂质及晶体缺陷分布情况。 八、感应信号方式------感应电信号 半导体和绝缘体在高速电子束的轰击下会在其中产生空穴-电子对，感应信号就是以此作信号的一种工作方式。这种方式可以显示半导体、绝缘体的表面形貌、晶体缺陷、微等离子体和p-n???。;100;Scanning(Y);试柳慑缔龚氓无授戈捉牛另控范遵潦团宦洒私辟妮安诺磕慧囤篡篡钮碰世第6章扫描电子显微镜第6章扫描电子显微镜;第四节 形貌象解释;90°; Theory of Scanning Electron Microscope;Theory of Scanning Electron Microscope;Theory of Scanning Electron Microscope; ;Charge-up Phenomena;;第五节 晶体学分析;成一倾角?，可以证明，两晶面间夹角?0与?以及图(a)所示的?1、?2之间有如下关系：