基于fp0-c14plc的自动阻抗匹配器的研制 design and application of digital matching network based on fp0-c14 plc.pdfVIP

14P 基于FPO—CLC的自动阻抗 ， 匹配器的研制 王登伟1,2，夏洋1,2 (1．中国科学院微电子研究所，北京100029； 2．中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室，北京100029) 摘 要：为了使随工艺条件变化的动态阻容等效负载自动变换成传输线的特征阻抗50．实现射 频电源的最大功率传输，提出了一种PLC控制的自动阻抗匹配器设计方案，采用鉴相鉴幅方法， 构建闭环控制系统，实现对动态变化阻抗的实时跟踪。匹配良好时，反射系数可以控制在0．2％以 内，具备匹配范围大、可靠性高、抗干扰能力强等特点。最后通过计算机仿真和现场实验验证了该 设计方法的有效性和可行性。 关键词：射频电源；自动阻抗匹配器；PLC；特征阻抗；数字电位器 中图分类号：TP23 文献标识码：A 文章编号：1004．4507(2011)05—0001—05 and