基于高频电感耦合的等离子体无极光源技术 high frequency inductively coupled plasma electrodeless light source technology.pdfVIP

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  • 2017-08-13 发布于上海
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基于高频电感耦合的等离子体无极光源技术 high frequency inductively coupled plasma electrodeless light source technology.pdf

基于高频电感耦合的等离子体无极光源技术 high frequency inductively coupled plasma electrodeless light source technology

中国照明电器 13 2010年第10期 CHlNALlGHTLlGHTlNG 基于高频电感耦合的等离子体无极光源技术 彭妙颜 (广州大学声像与灯光技术研究所,广东广州 510091) 摘 要 在简述无极光源发明史的基础上,介绍了等离子体无极光源的分类和特点,重点讨论“高频电感 耦合等离子体无极光源”的结构特性和应用发展。 关键词 等离子体无极光源 等离子体焰炬 高频电感耦合无极荧光灯 HighFrequency Plasma InductivelyCoupled ElectrodelessSource

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