通道效应在透射电镜样品厚度估测中的应用.PDF

第33卷 第6期 电 子 显 微 学 报 V01．33．No．6 2014年 12月 JournalofChineseElectronMicroscopySociety 20l4．12 文章编号：1000-6281(2014)06-0487-08 通道效应在透射 电镜样品厚度估测中的应用 李月亮，朱 静 (清华大学 北京电子显微镜中心，材料学院，新型陶瓷和先进工艺国家重点实验室， 先进材料教育部重点实验室，北京 100084) 摘 要：通道效应是出射波函数的样品厚度周期效应。像差校正高分辨像中像点强度随样品厚度的变化正是这 种效应的直接体现。本文提 出了利用通道效应估测样品厚度的方法，通过 多片层法高分辨像模拟，研究了元素种 类、离焦量、像散以及带轴偏离等参量对于厚度估测的影响，并以钛酸钡陶瓷样品为实例，对厚度进行了估测。 关键词：通道效应；像点强度；负球差成像；样品厚度估测；多片层法像模拟 中图分类号：0766 ．1；TGl15．215．3 文献标识码 ：A doi：10．3969／j．1000-6281．2014．06．001 高分辨透射电子显微术是透射 电子显微术中最 传统透射电镜中测量样品厚度的方法通常有会 重要的分支之一 ¨。随着科学技术的发展，透射 电 聚束电子衍射法和电子能量损失谱法 。然而，根 镜的分辨率不断提高，使得人们在越来越细微的尺 据高分辨像直接估测样品厚度的方法尚未有过报 度上对于材料的结构有了新的认识。高分辨电子显 道。在纳米尺度，很多材料具有尺寸效应 ，而样品厚 微术最近的一次革命始于 1998年，那一年，Haider 度也是尺寸的一种形式。在垂直于电子束的平面 内 发明了球差校正器 j，从硬件上实现了物镜球差的 具有亚埃分辨率的像差校正电子显微术，若能同时 校正，使得透射 电镜的分辨率大大提升，达到了亚埃 对平行于电子束方向的样品厚度进行估测，将给像 的尺度。球差校正器不仅能够减小物镜的球差系 差校正电子显微术带来更多有用的信息，尤其对具 数，而且使得物镜的球差系数成为一个可调节的参 有样 品厚度效应的材料研究具有重大意义 。 量，球差系数甚至可以调为负值。对于弱相位体，在 本文将根据通道效应，提出估测像差校正高分 负球差条件下，衍射束将发生 一zr／2的相移，与正球 辨像中不同区域样品厚度的方法，并通过多片层法 差条件相反，因此，负球差条件下像的衬度也与正球 高分辨像模拟，讨论元素种类、离焦量、像散和样品 差相反，原子的像为暗背底亮点像 J。首次提出这 带轴偏离等参数的影响，最后以钛酸钡陶瓷为例，实 种负球差成像方法的是贾春林博士，2003年，贾在 际进行一次样品厚度估测的操作。高分辨像模拟使 钛酸锶和钇钡铜氧化物中直接观察到 了氧原子 用MacTempasX软件进行，钛酸钡像差校正高分辨 像 。在负球差成像条件下，每个原子的位置可以 实验像出自FEItitan80-300型像差校正透射 电镜。 精确测量，精度达到了5个皮米 J。自此，负球差 成像技术成为研究氧化物中原子位移 娟J、缺陷 J、 1 通道效应估测样品厚度的原理 表面结构 M的强有力工具。 考虑电子衍射动力学效应，透射 电镜样品出射 对于原子序数较大的元素，其像点强度在像差 波函数可写为 ： 校正高分辨像中往往变化较大。引起这种现象的主 。 (7，￡)=。+∑Ci(7—7) 要原因是通道效应 ，即出射波函数的样品厚度周期 效应。这意味着高分辨像中像点的强度