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声表面波传感器温度频率特性的数值分析 - 化工学报
第 卷 第 期 化 工 学 报
67 S1 Vol.67 No.S1
年 月
2016 8 CIESC Journal Auust 2016
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研究论文 DOI 10.11949 .issn.0438-1157
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声表面波传感器温度频率特性的数值分析
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李莺歌 马连湘 张娜 袁世魁 杜东兴
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青岛科技大学自动化与电子工程学院 山东 青岛266042 青岛科技大学机电工程学院 山东 青岛 266061
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摘要 利用 ANSYS软件对声表面波传感器进行温度频率特性的数值模拟研究 分析了在一定压力情况下 基于
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氮化铝压电薄膜铝叉指换能器的延迟型传感器结构内部的温度有限元分布情况 结果表明外界自然对流对传感
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器内部的温度场及应力场分布影响很小 并模拟计算出温度与输出串联谐振频率变化的关系 通过数据拟合得
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出 SAW传感器的输出谐振频率与环境温度变化呈良好的线性关系 因此可应用于温度的精确测试
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关键词 声表面波传感器 数值模拟 热传导 膜 微电子学 温度频率特性
中图分类号: 文献标志码: 文章编号: — ( ) — —
TK311 A 0438 1157 2016 S1 0159 07
Numericalanalsisoftem eraturefreuenccharacteristicsof
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surfaceacousticwavesensor
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