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双成象单元扫描隧道显微镜与原子尺纳米计量技术-光子学报
27 10 Vo1. 27 No . 10
1998 10 ACT A PHOT ONICA SINICA October 1998
章海军 吴 兰 黄 峰
( , 310027)
研制了双成象单元扫描隧道显微镜 ( STM) , 可同时对参考样品 原子晶格和被测样
品扫描成象. 计数原子晶格 数目, 即可精确测定被测样品图象 尺度, 以原子尺方式实现严
格 纳米计量 . 本文介绍双成象单元 STM 原理和仪器系统, 讨论原子尺纳米计量 可
行性, 给出被测样品图象 纳米计量结果.
双成象单元; ST M ; 原子尺; 纳米计量
0
,
. , .
1 2
( ST M) ( AFM) ,
. , ,
, , .
3, 5
, ( HOPG) .
6, 7
, .
, , X Y ,
, ; ,
, , ; ,
, . ,
.
, STM ( ST M) .
, . ,
.
1
1 ST M . ST M
, X Y , HOPG ,
. HOPG 0. 25nm,
, . , ,
.
收稿日期: 1998—07—28
10 . 887
2 STM
. X Y ,
Z
, .
STM
, ( Inchw orm)
( IDM)
8, 9
. HOPG
,
1STM
. : Fig. 1The concept of nano-metrology based on atomic reference
scale by t he dual imaging unit ST M
, ,
.
ST M
, .
:
. ,
D/ A ,
. /
X Y A D
( ) ,
.
2
ST M ,
HOPG ,
. :
1. 0nA , + 50mV, ,
2STM
23 0. 1
Fig. 2Schematic diagram of t he dual imaging unit
. , HOPG ST M
,
. 3
ST M HOPG
, 5nm20nm.
AB ,
,
A B 13. nm,
13. 5nm, , 1%.
ST M
.
ST M 3ST M ( a) (b )
HOPG
. HOPG , Fig . 3Crystalline lattice images of t wo HOPG chips
. simultaneously scanned by the dual imaging
unit STM. ( a) reference side; (b) test side
27
888
, 10 .
600150 , . , .
Y
, , Z .
12nm, 120nm . .
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