基于隧道效应的纳米级振动检测及测量 measurement and detection of nano level vibration based on tenneling effect.pdfVIP

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2017-08-14 发布于上海
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基于隧道效应的纳米级振动检测及测量 measurement and detection of nano level vibration based on tenneling effect.pdf

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基于隧道效应的纳米级振动检测及测量 measurement and detection of nano level vibration based on tenneling effect

第 22卷第期电子测量与仪器学报 Vol.22 No.2 2 - - 4 6 JOURNAL OFELECTRONICMEASUREMENTANDINSTRUMENT 2008年月基于隧道效应的纳米级振动检测及测量李梦超傅星胡小唐 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 ,天津 300072 摘要扫描隧道显微镜是高精度纳米级表面测量仪器由于扫描隧道显微镜工作时的隧道间隙在几个纳米左右外界 ! , , 任何微小的随机振动传递到仪器都会对测量结果产生影响 ,失去被测物表面的特征信息 0 因此 ,研究微振动 ,特别是低频纳米级振动在隧道状态下对隧道间隙的影响具有很重要的意义 0 实验表明 ,实验系统在隧道状态下对纳米级振动有很好的幅频响应 0 ! , , , 关键词扫描隧道显微镜隧道效应隧道间隙幅频响应中图分类号 TB936 文献标识码 ! !A Measurementanddetectionofnano Levelvibrationbasedontenneling Effec t LiMengchao fu Xing Hu Xiaotang ( , , , StatekeyLab.ofprecision MeasurementTechnoiogyand InstrumentTianjin UniversityTianjin300072 China AbstractScanningtunneiingmicroscopyisananoieveisurfacemeasurementinstrumentwith high precision becauseofthesev- : , erainanometertunneiinggap externairandomiowfreguencyvibrationhasgreatinfiuenceonthemeasurementresuit.Itisveryusefui , tostudytheinfiuenceofthenanoieveivibrationonthetunneiinggap.Experimentsdemonstratethatthesystemhasgoodampiitude-fre- guencyresponsetothenanoieveivibration in thetunneiingstate. : , , , Keywordsscanningtunneiingmicroscopytunneiingeffecttunneiinggap ampiitude-freguencyresp