炉管考核须知-国家奈米元件试验室.pptVIP

National Nano Device Laboratories Create for the future 國家奈米元件實驗室垂直爐管技術資料 * 技術資料 垂直爐管 * 1、概觀 2、模組介紹 * 1、概觀 1.1 A-400 A-400是模組化爐管，設計為處理矽晶片，如半導體元件製造的一部份。 A-400結構由下列組成： ?Work-In-Progress（WIP）station ?Robot section ?Reactor module（two or three） * WIP Station WIP station包含一組Carousel，共有三層，每一層能置放8個晶舟（每個晶舟可放25片晶片）。 WIP station共可容納24個晶舟(600片晶片)。 操作欲進入到Carousel須過裝設在WIP側面的操作門。 Robot Section Robot藉由氣密門隔離WIP和Reactor模組〔Open僅當Loading和Unloading時〕。 Robot傳送晶片從WIP到Reactor boat載入位置。 Reactor Module Reactor Module是個小型裝置，包含Reactor tube，Boat elevator，3個Boat position corousel和所有電子及供氣系統零件供應此模組。 Reactor carousel配件，提供最大3個石英Boat的位置。 如同Carousel旋轉，移動Boat到三個位置之一。 ?Load position：相對於Robot位置，提供晶片載入位置。 ?Process position：當Boat移動到Reactor tube下面，能夠被Boat Elevator升起進到製程Tube。 ?Cooldown position：當製程結束時，Boat elevator將Boat降下，再旋轉至此位置冷卻Boat中之晶片〔大約15分鐘〕，避免晶片過熱，在傳送過程中導致破片。 氣體系統被架構給予特殊處理，不是整合在模組櫃中，就是包含在氣體櫃中，建構在Reactor模組側面。 * 泵浦系統給予低壓製程，由ASM提供。 1.2 製程 A-400製程包括如下： Atmospheric Processes Low Pressure Processes ?Dry／Wet Oxide ?Poly Silicon ?HF Vapor 1.3 特性 1.3.1 模組化設計 A-400能支援一或二個甚至三個Reactor模組，組合在單一的WIP station和Robot section。 這設計提供下列優點： ?製程是“Cassette-to-Cassette”，在乾淨、含氧量及塵粒減少的環境。 ?製程執行在獨立性的晶片操作。 ?中央的Robot完成所有晶片傳輸。 ?機台置於無塵室的空間是最小。 ?日後額外的模組能夠被增加到單一Reactor系統。 ?在沒有改變Robot及WIP情況下，模組能夠更換支援不同的製程。 ?共同的零件及標準模組配置容易維修和系統之親和性。 ?各模組備份零件常常可互相交換使用。 1.3.2 製程群集 ?兩個模組能夠執行同一製程，提供高生產量。 ?各模組能執行不同製程。 ?各模組能順序地完成兩個不同製程。 1.3.3 周圍環境的控制 在A-400組織中，任一模組和區域可單獨地Purge，藉由重覆循環過濾的空氣。 N2 purge引入機台中，以減少含氧量。 介於Robot和模組，氣密門僅當Loading和Unloading及機台內之氧含量在予 許的範圍內，才予以開啟。 維持任一模組在可控制的環境下和防止介於各模組中交互污染。 1.3.4 中央Robot操作 Robot section由Genmark Gencobot Ⅳ robot構成，穩定地傳送晶片介於WIP station 和Reactor sect