硅各向异性腐蚀模拟的3_D连续CA模型研究.pdf

第27 卷　第6 期 仪　 器　 仪　 表　 学　 报 V o l. 27 N o. 6 2006 年6 月 Ch inese Journal of Scientific Instrum ent Jun. 2006 硅各向异性腐蚀模拟的3 D 连续CA 模型研究 1 1 1 2 2 周再发 　黄庆安 　李伟华 　王　涓 　孙岳明 1 ( 东南大学 教育部重点实验室　南京　210096) M EM S 2 ( 东南大学化学化工系　南京　210096) ( ) 摘要　针对硅的各向异性腐蚀, 直接采用硅的晶格结构作为CA 元胞自动机 的晶格结构, 建立了硅各向异性腐蚀的3 D 连 续CA 模型。模型通过引入更多腐蚀过程中出现的晶面, 使得腐蚀过程中表层元胞边界条件的确定只与表层元胞有关, 提高了 模拟的精度。通过对模似结果的理论分析及将模拟的三维输出结果与已有实验结果进行对比, 验证了模型的模拟效果。 关键词　元胞自动机　腐蚀模拟　微机电系统　微加工技术　各向异性腐蚀 中图分类号　 40　文献标识码　 　国家标准学科分类代码　5103030 TN A Study on 3 D Con tinuous Cellular Automa ta M odel for Silicon An isotrop ic Etch ing Sim ula tion 1 1 1 2 2 　 　 　 　 　 Zhou Zaifa H uang Q ing’an L iW eihua W ang Juan Sun Yuem ing 1 (K ey L aboratory of M EM S of M O E , S ou theast U niversity , N anj ing 210096 , Ch ina) 2 ( , , 210096 , ) D ep artm ent of Chem istry and Chem ical E ng ineer