第10章 光学传感器(上)课件.ppt

第10章 光学传感器;图10-1 现代光学传感器原理框图;10.1 光电传感器;内光电效应又可以分为以下两类： ;⑵光生伏特效应;图10-5 PN结加反向偏压;10.1.3 光敏电阻;图10-7 CdS光敏电阻结构图;图10-8 光敏电阻基本偏置电路;10.1.2 光电池;图10-10 硅光电池结构示意图;图10-11 电子清纱器的光电探测头示意图;10.1.3 光敏晶体管;⒈光电二极管;⒉光敏晶体三极管;⒊光电IC;⑴数字输出式;⑵线性输出式;⑶光调式;10.1.4 光电倍增管;（a）侧窗型光电倍增管 （b）端窗型光电倍增管 图10-19 典型光电倍增管类型;图10-20 端窗型光电倍增管的剖面图;10.2 光波传感器;10.2.1 红外温度传感器;图10-22 衍射型微型镜头集光原理;10.2.2 电光传感器;图10-24 传输函数曲线;图10-25 体电光晶体光纤传感测高电压系统;图10-26 Mach-Zehnder式光调制器;图10-27 基于光波导调制器的传感器应用系统;10.2.3 磁光传感器;（a）光路;10.2.4 光栅传感器;图10-32 光栅???感器的构成 ;10.2.5 多普勒传感器;图10-34 测量光路;10.2.6 SPR传感器;对于可见光而言，在金属导体中消失波的有效深度一般为100～200nm。 消失波导致靠近样品处金属表面电子振荡，形成沿着样品和金属表面传播的电子疏密波，也是一种电磁波，被称为表面等离子体或表面等离子体基元。 在一定条件下，入射光沿X方向的分量和表面等离子体产生共振，这一现象称为表面等离子体共振。;激励SPW的主要方式有棱镜藕合ATR结构，光栅藕合结构和波导藕合结构等，如图10-35所示。 ;从检测方式来看，SPR传感器可分为：强度调制、角度调制、波长调制和相位调制。 ⑴强度调制：固定入射光波长及入射角度（共振角附近），检测反射光强随外界折射率的变化。 ⑵角度调制：固定入射光波长，通过扫描入射角度，追踪共振角（反射强度的最小值）随外界折射率的变化。目前商用的SPR仪器大多采用相干性较差近红外LED作为光源，不需要复杂的转动装置，还可避免激光产生的干涉效应对测量结果的影响，接收端用线阵CCD采集不同入射角度的反射光强。 ⑶波长调制：固定入射角度，以宽带光源入射，探测反射或者透射光谱的变化，获得共振波长随折射率变化的关系。 ⑷相位调制：固定入射光波长和角度，探测TM波在棱镜底面反射前后相位的变化。理论和实验研究表明，与其他调制方式相比，相位调制可以使SPR传感器灵敏度提高1-2个数量级。