薄膜与薄膜技术(1)(据说能看)资料.pptxVIP

第一章 — 薄膜材料与薄膜技术基础 课程主要内容 主要参考书 唐伟忠，薄膜材料制备原理、技术及应用（第2版），冶金工业出版社，2003； 田民波，李正操，薄膜技术与薄膜材料，清华大学出版社，2011； 蔡珣，石玉龙，周建，现代薄膜材料与技术，华东理工大学出版社，2007； 教学形式及考核 分成5个小组，每组4人共同完成一篇课程论文； 针对特定内容，每人一次口头报告（10分钟） 英文文献阅读：每人针对一种薄膜制备方法查找一篇文献，翻译后讲解； 出勤情况和平时成绩（包括课堂讨论、课程论文）占20％； 薄膜的定义 什么是“薄膜”（thin film），多“薄”的膜才算薄膜？ “涂层”（coating）、“层”（layer）、“箔”（foil）有相同的意义，但有时又有些差别。 薄膜材料的分类 化学组成： 无机膜、有机膜、复合膜； 相组成：固体薄膜、液体薄膜、气体薄膜、胶体薄膜； 晶体形态：单晶膜、多晶膜、微晶膜、 纳米晶膜、超晶格膜等。 薄膜材料的分类 薄膜的功能及其应用领域： 电学薄膜、光学薄膜、硬质膜、耐蚀膜、润滑膜、有机分子薄膜、装饰膜 、包装膜 ①半导体器件与集成电路中使用的导电材料与介质薄膜材料：Al、Cr、Pt、Au、多晶硅、硅化物、SiO2、Si3N4、Al2O3等的薄膜。 ②超导薄膜：特别是近年来国外普遍重视的高温超导薄膜，例如YBaCuO系稀土元素氧化物超导薄