论超高压汞灯特性和控制方式 features and control ways of super-high pressure mercury lamp.pdfVIP

- 电 子 工 业 毫 用 设 备 光刻技术与设备 论超高压汞灯特性和控制方式 刘卫平 f中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 100176) 摘 要 ：分析 了超 高压汞灯的特性和对 电源的控制要求 ，对各种控制方式进行 了归纳和 比较 ，提 出了最佳的方案 。 关键词 ：超高压汞灯；光强控制 ；传感器 ；光积分 中图分类号：TM923．322 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004—4507(2012)08—0035—05 FeaturesandControlW aysofSuper-high PressureM ercuryLamp LIU W eiping (The45ResearchInstituteofCETC，Beijing100176，China) Abstract：Analyse