一种采用CMOS018um制造的用于无线互连的片上缝隙-易迪拓培训.PDF

2007年全国微波毫米波会议论文集 一种采用CMOS 0.18um制造的用于 无线互连的片上缝隙天线 江亮 尹文言 毛军发 （上海交通大学上海 200240 ） 摘 要：本文采用标准0.18um CMOS工艺设计制造了两根不同缝隙宽度（10um和100um），工作在~36GHz 的片上缝隙天线。 分别对相距3mm的两根缝隙宽度为10um及两根缝隙宽度为100um的片上缝隙天线的S11及S21进行了仿真和测试，结果表明 采用标准的0.18um CMOS工艺设计制造片上缝隙天线是完全可行的，同时也表明尽管存在低电阻率硅衬底对天线辐射性能 的影响，宽缝天线仍然比窄缝天线拥有更高的传输增益。 关键词：片上缝隙天线，CMOS，无线互连，低电阻率 On-Chip Slot Antennas in 0.18um CMOS for Wireless Interconnect Liang Jiang, Wen-Yan Yin ，Junfa Mao (Center for Microwave and RF Technologies, School of Electronic, Information and Electrical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, P. R. CHINA) Abstract ：Two on-chip slot antennas resonating at ~36GHz with different widths (10um and 100um) in standard 0.18um CMOS are presented for the first time. S21 between two 10um width slot antennas and between two 100um width slot antennas both with ~3mm distance is simulated and measured. It is found that higher gain could be gained between two wider slot antennas than that of narrower ones. The experimental results indicate that designing on-chip slot antennas with standard CMOS process is feasible, which will make for the farther improvement of CMOS integration, and that the on-chip slot antennas can be used in wireless interconnect system. Key Words: On-chip slot antenna, CMOS, wireless interconnect, low resistivity silicon 1 问题[1]，同时有利于SOC （片上系统）的进一步完善。 1 引言 在设计无线互连或WCAN系统的过程中，片上天线 最近几年，一些相关文献陆续提出了无线互连[1]、 是获取片上或片间无线传输信号的一个重要组成部分。 WCAN （无线片上局域网）[2]等概念。其主旨思想是利 因此，在片上天线的设计和制造上也涌现了许多研究成 用无线通信的模式，通过自由空间有效的收发射频或微 果，他们主要集中在如何提高天线的辐射增益，如