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密封封装内部水汽含量判据研究 research on the criteria of internal moisture content in hermetic packages.pdf

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密封封装内部水汽含量判据研究 research on the criteria of internal moisture content in hermetic packages

密封封装内部水汽含量判据研究 杨晨,张素娟 (北京航空航天大学可靠性与系统工程学院,北京100191) 摘 要:密封封装内部的水汽对于半导体器件的可靠性是一种威胁,由此导致的硅表面铝金属线的腐蚀是一种 主要的失效机理。为了防止密封封装内部发生腐蚀失效。从而提高器件的可靠性.美军标和我国国军标均给出 了内部水汽含量的试验流程和判据。然而另一些研究表明.水汽的单独存在并不会导致铝线腐蚀失效。研究了 水汽在密封器件的腐蚀失效机理中的作用.对硅表面铝线的腐蚀过程进行了数学描述。分析了目前标准中内部 水汽含量判据。并给出了防止密封器件腐蚀失效的建议。 关键词:密封封装;内部水汽含量;腐蚀;失效机理;集成电路可靠性 中图分类号:TN305.94 文献标识码:A MoistureContent ResearchontheCriteriaofInternal inHermetic Packages YANG Chen,ZHANGSu.juan of ofAemnautics锄d (Sch00l Systems UniVersity Astronautics, Reliabili哆andEn舀neering,Beijing 10019l,China) Beijing intemalmoistureinhe册etic is ha掰doustotlle of Abstract:The packages reliabil时 ahlminumtracesonthesiliconsurf.ace semiconductordevices.andthecon.osionofthe metal thecon.osionfailurein causedthemoistureisthemainfailuremechanism.Tb hermetic bv prevent tlletest and and t}le ofsemiconductor criteriafor packagesimprovereliability deVices, procedure theintemalmoisturecontentwere inboththe standardsoftheUSAandChina. presented military indicatedthattIlemoisturealonewouldnotcausecoH.0sionf.ailuresofthe Butotherr.esearches of inthecorrosionf.ailure皿忙chaIlism aluminummetaltraces.

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