气体放电表面电荷和空间电荷测量方法 surface and space charge measurement of gas discharge.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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气体放电表面电荷和空间电荷测量方法 surface and space charge measurement of gas discharge

电子测量技术第32卷第11期 ELECTRoNICMEASUREMENTTECHNOI。0GY 2009年11月气体放电表面电荷和空间电荷测量方法任舂荥 (大连理工大学电气工程与应用电子技术系大连116024) 摘要：气体放电是气体具有导体性质和作用的一种现象。目前广泛应用于机械加工、化工生产、材料制备和环境保护等领域。放电电荷量作为气体放电中的关键参数，其精确性关系到放电系统的控制和实际应用效果。从表面电荷和空间电荷两个方面阐述了气体放电系统中常用电荷测量方法的测量原理、探头结构。在此基础上分析了各种测量方法的测量准确性和实际应用情况。关键词：气体放电；表面电荷测量；空间电荷测量中图分类号：TM855；TM216文献标识码：A Surfaceand measurementof spacecharge gasdischarge Ren Chunrong ofElectricalandElectronics of 116024) (Department Engineering，DalianUniversityTechnology；Dalian isa thatthe hasthenatureand of Abstract：Gas function dischargephenomenongas in used andenvironmental of widely machining，chemicalproduction，materialpreparation protection．Quantityelectric isthe of measurementinfluencethecontrolofthe keyparametergas accuracy aswell discharge，it’S dischargesystem as the of andsurface viewedonthe and practicalapplication．Fromprospectivespacecharge charge，thepaper principle structureofcommon the the and probe usedmethods．Then accuracypractical ofeach paperanalyzed application method． measurement Keywords：Gasdischarge；Surfacechargemeasurement；Spacecharge 面电荷的精确测量是进一步了解放电机理、分析放电规律 0引言以及后续工业应用的基础。 1928年，朗谬尔定义了“等离子体(plasma)”概念，开1．1粉尘图形法创了气体放电理论的研究的第