双层悬空结构片状微电感研究-硬件和射频工程师.PDF

下载文档 降价啦

4
0
约1.36万字
约 7页
2017-08-12 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

双层悬空结构片状微电感研究-硬件和射频工程师.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

双层悬空结构片状微电感研究-硬件和射频工程师

4 4 2004 12 MICROFABRICATION TECHNOLOGY Dec, 2004 : 2004) , , , ( , 200030) : 利用MEMS 工艺制作了一种双层悬空结构的圆形片状微电感, 并研究了其在S 波段的性双层微电感的底层线圈制作在玻璃衬底平面上, 外径为500 m, 匝数为2, 导线宽度70 m, 导线间距15 m, 顶层线圈的悬空高度为20 m, 顶层线圈的匝数为15, 其它结构参数与底层线圈相同研究表明, 所制作的双层结构微电感在 2 GHz~ 4 GHz 时其电感量达到22 nH, 其品质因数达到22在制作过程中首次引入的光刻胶抛光工艺大大简化了微电感的制作过程 : ; ( MEMS) ; S : TM55 : A 1 , , , MEMS , , 2 GHz~ 4 GHz Q , ( MEMS) , , , [ 1- 3] , , 2 , [ 4- 6] [7] MEMS [ 8] ; 1 100 nm Cr/ Cu ( Cr/ Cu= [9] 10 nm/ 90 nm) ; b [ 10- 11] 5 m AZP4620 , , , ; c , , : : : ( 1976- ) , , , , RF 4 : 75 5 m , ; d , 20 m, AZP4903, , : 50 1 h, 90 2 h; e , ; f , Cr/ Cu , ; g 25 m AZP4903 , , , , , , , , , 1g , , , 1h 1 MEMS , , ; i 150 nm Cu , Cu ; j Cu AZ P4620 , 5 m, ; k , ; l