原创力文档基于高精度位移传感器的减振平台-光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程
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Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．３
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２０１０ ３ Ｍａｒ．２０１０
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２０１００３０６４６０７
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