静电驱动组合柔性结构的变形分析与试验验证.pdfVIP

2017 仪 表 技 术 与 传 感 器 2017 第2期 Instrument Technique and Sensor No．2 静 电驱动组合柔性结构的变形分析与实验验证 刘庆玲 ，孙丽波 ，王兴新 ，于常娟 (1．廊坊师范学院数学与信息科学学院，河北廊坊 065000；2．燕山大学环境与化学工程学院，河北秦皇岛 066004) 摘要：针对静电驱动组合柔性结构的变形进行分析，考虑静电力分布载荷的基本特征、静电力与组 合柔性结构变形之间的耦合作用，依据静 电场理论、伪刚体理论 以及非线性柔性模型。给出分析不同电 压下求解组合柔性结构变形的一般方法，同时给出静 电吸合电压的计算式。设计加工了MEMS组合柔 性结构，采用文中方法分析静电驱动中组合柔性结构的变形，同时搭建实验测试系统．确定电压加载范 围，完成组合柔性结构的变形测试。将实验测试结果与理论计算结果进行对比分析。验证文中分析方 法 的正确性 关键词：静 电驱动；组合柔性结构；变形；静 电吸合；实验测试 中图分类号：TH122 文献标识码 ：A 文章编号：1002—1841(2017)02—0122—05 AnalysisandExperimentalVerification onDeformation ofCombinedCompliantStructuresDrivenbyElectrostaticForce LIUQing—ling，SUNLi-bo，WANGXing—xin，YUChang-juan (1．DepartmentofMathematicsandInformationScience，LnagfangTeachers’University，Lnagfang065000，China； 2．CollegeofEnvironmentalandChemicalEngineering，YanshanUniversity，Qinhuangdao066004，China) Abstract：Accordingtocombinedcompliantstructuresdrivenbyelectrostaticforce，consideringthedistributedloadofthee- lectrostaticforceandthecouplingbetweentheelectrostaticforceandthedeformation，basedonthetheoryofelectrostaticfield theory ，thepseudorigidbodyandflexiblenonlinearmodel，thedefomrationanalysismethodunderdifferentdrivenvoltageandthe calculationformulaaboutthepull—involtageweregiven．Thecalculationformulaofstaticelectricityandthevoltageweregivenat thesametime．TheMEMSflexiblecombinationstructurewasdesigned．Defomr ationofcombinedcompliantstructuresdrivenby electrostaticforcewasanalyzedbythemethodinthispaper．Thetestsystem wasbuiltandthedrivenvoltagerangewasdeter- mined，thedefomr ationofthecombinedcompliantstructureunderdifferentdrivenvoltageweretested．Bycontrastingthetheoret- ical nadthetestresults，thecorrectnessoftheanalysismethodisproved． K