物性分析试验室.PDF

NTUST Materials Science and Engineering 物性分析實驗室 聯絡人：胡先生 分機：6542 E-Mail: wjhu@mail.ntust.edu.tw 四點探針薄膜電阻量測儀 (Four Point Sheet Resistance Meter) 名稱： 四點探針薄膜電阻量測儀 廠牌型號 ： 太陽能科技 FPSR100 放置地點： E1-243 負責技術員 ： 胡吳俊 購置年月： 100.7.29 購置金額： $ 90,000 儀器狀況： 正常 本系 (A) ： 0 元/時段 校內外系 (B) ： 洽詢 元/時段 校外 (C) ： 洽詢 元/時段 每日分為 3時段 早上：08:30 ~12:00 儀器簡介： 如后 下午：13:30 ~17:00 夜間：19:00 ~隔日08:00 申請單： 儀器設備使用申請單 、實驗室延長使用申請單 NTUST Department of Materials Science and Engineering © 2015-5 Design By Hu 四點探針薄膜電阻量測儀 Four Point Sheet Resistance Meter 一、測試原理 ： 運用四點探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量片狀、塊狀半導體材料的徑 向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱片電阻）。換上特製的四點探針測試夾 具，還可以對金屬導體的低、中值電阻進行測量。儀器由主機、測試探頭（可選配測試 台）等部分組成，測試結果由數碼管直接顯示。主機主要由精密恒流源，高解析度 ADC 、 嵌入式單片機系統組成，自動轉換量程。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、 智慧化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。儀器適用於半導體材料廠、半 導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。特別適用於要求快 速測量中低電阻率的場合。 二、操作說明 ： 1.測試準備： 將電源插頭插入電源插座，電源開關置於斷開位置，將測試探頭的插頭與主機的輸入插座 連接起來，測試樣品應進行噴砂和清潔處理，（選配測試台的將樣品放在樣品架上），調 節室內溫度使之達到要求的測試條件。將電源開關置於開啟位置。 2. 人工測量： 將探針與樣品良好接觸，注意壓力要適中。選擇顯示電流，置於樣品測量所適合的電流量 程範圍，電流調節電位器調到適合的電流值。選擇顯示電阻率或片電阻，即可由數位顯示 窗直接讀出測量值，如果顯示“ F”，表示超出量程範圍，應降低電流量程。按下電流極 性按鍵，從數位顯示窗和單位顯示燈可以讀出負極性的測量值；將兩次測量獲得的電阻率 值取平均，即為樣品在該處的電阻率或片電阻值。 3.電腦測量： 選擇測試樣品類型，並輸入樣品尺寸以及其他資料後，就可以進行測試。測試前應根據樣 品電阻率決定電流量程，也可以使用“自動電流量程”功能自動選擇合適電流量程。使用 “自動電流量程”功能和“測試”、“重測”功能前應當將測試儀的探頭壓在被測樣品表 面，再選擇“自動電流量程”功能和“測試”、“重測”。這時會出現對話方塊要求將電 流示值進行調整，調整測試儀粗調和細調旋鈕使電流讀數符合要求。測試結束會在右側表 單顯示測量的結果，同時右下方統計資料表單也會相應更新。如果對測試結果不滿意，需 要重新測試時，滑鼠選中需要重新測試的那一行，如果不選擇，則是重新測試最後一行， 點擊重測的圖示，進行重新測