电容传感器的原理及应用-电子科技大学.PDF

蒙文舜等 电容传感器的原理及应用 ( 电容传感器的原理及应用 蒙文舜 杨运经 刘云鹏 ! ! 西北农林科技大学 生命科学学院 陕西 杨凌 #$%$’ 摘 要 论述了在测量与长度有关的力学量所采用的各类电容传感器的工作原理和分析方法 介绍了他们在测量技 ( ! 术中的具体应用!对差动式电容传感器测量精度和降低测量误差做出定量分析) 关键词 电容传感器 长度 精度 误差分析 ( * * * 中图分类号( -./0% 文献标识码( 文章编号($/ .#. %.’# #3 / +, 1 2 4567869:;7=99:68?6@7@AB986?CD;7E@5 ! ! ,FGH IJKLMNK OPGH ONKQRKS TUV ONKWJKS ! 0 0 ! !#$%$! ’ XYZZJSJY[TR[J\]RJK]J GY^_M‘JL_\]R+J]M VKRaJ^LR_bY[PS^R]NZ_N^JcKdeY^JL_^b OcKSZRKS XMRKc ( fE?58? gRL]NLLJd_MJhJ]McKR]LiNcK_R_b‘MR]MjJ^JZc_Jd_YZJKS_Mc^JhJcLN^JdjbcZZkRKdY[]cWc]R_bLJKLY^LY[‘Y^kRKS 0 ! W^RK]RWZJcKdcKcZbLRLhJ_MYd UK_^YdN]Jd_MJ]cWc]R_bLJKLY^Lc^JNLJdRKc]]N^c_JhJcLN^JhJK__J]MKYZYSb _MJKcKdZbLJd_Mc_ 0 dR[[J^JK_]cWc]R_bLJKLY^Lc^JRKc]]N^c_JhJcLN^JhJK_cKddJ]^JLJhJcLN^JhJK_J^^Y^dJaRc_RYK ( * * * l;Cm@5=E ]cWc]R_bLJKLY^L ZJKS_M c]]N^c_J J^^Y^cKcZbLRL 对于上述这些力学量 尤其是缓慢变化或微小量 ! n 引 言 的测量!一般来说采用电容式传感器进行检测比较适 用电测法测量非电学量时 首先必须将被测的非 宜 主要是这类传感器具有以下突出优点 ! ! ( 电学量转换为电学量而后输入之 通常把非电学量变 $’测量范围大 其相对变化率可超过 $t * ) 换成电学量的元件称为变换器 根据不同非电学量的 灵