聚砜上催化剂增强化学气相沉积钯!铂双层纳米膜-催化学报.PDF

第 卷 第 期 催 化 学 报 年 月 ’ !!( L8.*’E8* $%’(#()*+,’-.* $-0-.## -?-0U-;!!( / 1 A 文章编号： （ ） 研究快讯： !#$%’$( !!( !%!(##%!$ (##!(#( 聚砜上催化剂增强化学气相沉积钯 铂双层纳米膜 ! ) ) 郑建华 ， 周锦兰 ， 田熙科 ， 冯文芳 ， 俞开潮 （ 中国地质大学材料科学与化学工程学院，湖北武汉 ； ) +$!!(+ 华中科技大学化学与化工系材料化学与服役失效湖北省重点实验室，湖北武汉 ） +$!!(+ 摘要：以 和 作载气，采用催化剂增强化学气相沉积法在聚砜上获得了 和 双层金属纳米薄膜 当使用 E F G? GC%G? * （ ）和 （ ） 为前驱体在同一反应器内共沉积时，只有 被沉积，铂和钯顺序沉积可以得到双层膜 聚砜上金 GC@H16 G?IF J- G? * 属钯和铂微粒尺度为 )#!$!=0，双层膜厚度为 )!!)’!=0* 关键词：催化剂增强化学气相沉积；聚砜；铂膜；钯 铂双层膜 % 中图分类号： 文献标识码： F7+$ K 表面金属化聚合物在微电子工业上得到广泛应 催化剂气相沉积实验在大气压力下于直形冷壁 ［］ 用 ) 与沉积在玻璃衬底上的金属薄膜相比，沉积 反应器中进行 反应器用耐热玻璃制成并带有导气 * * 在有机薄板上的金属薄膜具有更轻便和易于加工等 口，顶盖安装有内置加热线圈并被抽成真空的基材 优点 纳米结构金属材料具有广泛的新用途，如催 探针 反应器与顶盖用 形环密封连接并抽成真 * * F ［］ 化剂、电极电解、光学和微电子行业等 钯和铂电 空 衬底膜材用含有银粉的粘合剂固定，将配合物 * * 性能良好，耐氧化且具有优良的催化性能 聚砜是 前驱体保持在前述特定温度下，利用外源加热棒将 * 一种热塑性塑料，由于具有良好的热学和介电性能， 基材